[发明专利]单晶硅片表面磷酸基硅烷－碳纳米管复合薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 200710037045.6 | 申请日： | 2007-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN101036910A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 程先华;亓永;李键;顾勤林 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B05D5/08 | 分类号： | B05D5/08;B05D1/18;B05C19/00;B81C5/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 毛翠莹 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 表面 磷酸 硅烷 纳米 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【说明书】：
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