[发明专利]特气柜

说明书

技术领域

本发明涉及一种气体的供气装置，特别涉及一种应用在半导体、微电子、光电等行业内工艺制程中使用到的易燃易爆、有毒有害、腐蚀性等特种气体最合适的钢瓶储存、安全稳定供气的特气柜。

背景技术

科技在不断前进，技术不断革新，因此半导体和新能源产业也随之蓬勃发展，作为工业的血脉气体，得到了更广泛的利用。

气体由于其本身的物理和化学性质，决定了其在工业中被广泛利用同时，也伴随了很高的危险性；气体有毒性的，腐蚀性的，可燃性的，其无论是哪一种都会对人造成致命的危害，因此对于气体钢瓶的储存、使用及输送便提出了很高的要求.对于气体的使用不仅是在安全的可靠性，还有就是对于输送到工艺设备时怎样满足工艺的要求。

因此特别需要一种符合上述要求的特气柜。

发明内容

本发明的目的是提供一种特气柜，该装置在使用时具有对操作人员的安全、气体输送的安全和对工艺设备的安全。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种特气柜，它包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成；其特征在于，所述供气管路由工艺钢瓶出口的截止阀I通过管路依次连接气动隔膜阀I、高压截止隔膜阀I、预过滤器I、减压阀I、低压截止隔膜阀I、精密过滤器I接入供气管路；所述吹扫管路由吹扫气体钢瓶出口的截止阀II通过管路依次连接高压截止隔膜阀II、预过滤器II、减压阀II、单向阀I、高压截止阀I，通过单向阀II、吹扫隔离阀I接入所述供气管路；所述抽真空管路由氮气输入口通过管路依次连接针孔阀I、止回阀I、真空发生器至排气口，真空发生器的真空端由管路通过高、低压排气阀连接到上述供气管路中。

在所述供气管路的减压阀I的进出口分别设有压力检测设备，用于显示工艺钢瓶的压力值和供气压力值。

在所述吹扫管路的减压阀II的进出口分别设有压力检测设备，用于显示吹扫钢瓶端压力值和吹扫压力值。

在所述抽真空管路的真空发生器的真空端入口处设有压力检测设备，用于指示真空发生器工作时的负压值。

所述柜体为一个需要外部抽风来形成负压装置的一个防爆的带门的方形柜体，其主要由一定强度的钢板、防爆玻璃及其它部件组成，使具有毒有害气体的工艺钢瓶、阀组面盘处在一个负压、与工作大环境隔离的防爆小环境中，最大限度保证操作者和柜体外环境的安全。

本发明的特气柜为手动型装置，其中所述的阀门为手动阀，所述的压力检测装置为压力表。

本发明的特气柜为全自动型装置，它还包括一通过传感器采集供气装置状态信号，用来控制阀门动作的控制器，传感器与所述控制器的信号输入端连接；其中所述的阀门为气动阀门，所述的压力检测装置为压力传感器。

本发明的特气柜还包括一用于检测气体泄漏的气体侦测装置，其与所述控制器的信号输入端连接，以具备紧急切断功能，即在发生于类似气体泄漏时，能通过控制器自动关断所述供气管路出口的气动阀，确保气体输送的安全。

本发明的特气柜的原理如下：

通过所述供气管路将工艺钢瓶中气体供给设备使用；通过所述抽真空管路和吹扫管路，把供气管路中的有毒有害气体除去，以进行工艺钢瓶的更换；同时通过连接管路中设置的各类安全、工艺方面的传感器和控制器，监控特气柜内的工作状态及工作环境，使本发明的供气装置处于安全、稳定状态并满足工艺要求，实现本发明的目的。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式来进一步说明本发明。

图1为本发明特气柜的柜体结构示意图。

图2为本发明特气柜的结构原理图。

具体实施方式

如图1所示，特气柜的柜体，由气柜排风抽风口1’，防爆型操作观察窗2’，阀组面盘3’，钢瓶支架4’，钢瓶托架5’，带过滤网的进风孔6’及设置在柜体上部的控制器7’组成；柜体为冷扎钢板(Q236)，钢板厚为3mm，柜体全密封，接缝处为焊接，柜体设计为防爆耐腐蚀、耐火；使具有毒有害气体的工艺钢瓶1、阀组面盘3’处在一个负压、与工作大环境隔离的防爆小环境中，最大限度保证操作者和柜体外环境的安全。

如图2所示，特气柜的内部的阀组盘面3’，它包括供气管路2、吹扫管路3和抽真空管路4构成。