[发明专利]一种焊头定位精度检测系统及其方法有效

专利信息
申请号: 200710031376.9 申请日: 2007-11-13
公开(公告)号: CN101159242A 公开(公告)日: 2008-04-09
发明(设计)人: 李克天;刘吉安;陈新;黄向修 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/68;H01L21/50
代理公司: 广州粤高专利代理有限公司 代理人: 林丽明
地址: 510006广东省广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 定位 精度 检测 系统 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种焊头定位精度检测系统,包括焊头吸嘴(3)及控制焊头吸嘴(3)在拾片点(2)拾取晶片、传送晶片和在粘片点粘焊晶片的传动机构(8),其特征在于:粘片点(2)下安装有反光镜(1),上述焊头吸嘴(3)中心设有一中空通孔,中空通孔的上方设置有向反光镜(1)发光的光源(4),及采集由反光镜(1)反射的光信号的图像采集器(6),图像采集器(6)还连接一处理上述光信号的计算机处理系统(7)。

2.根据权利要求1所述的焊头定位精度检测系统,其特征在于:焊头吸嘴(3)上方设置一与其中空通孔同轴的镜筒(5),图像采集器(6)位于镜筒(5)上方,镜筒(5)内设置有半透镜(9),光源(4)位于半透镜(9)的一侧,且其发出的光线经半透镜(9)折射并经由中空通孔射向反光镜(1),经反射后仍经由该中空通孔及镜筒(5)射向图像采集器(6)。

3.根据权利要求1所述的焊头定位精度检测系统,其特征在于:光源(4)通过半透镜(9)形成垂直光束,该图像采集器、镜筒、焊头粘片点和反光镜的几何中心处于同一光轴上。

4.根据权利要求1所述的焊头定位精度检测系统,其特征在于:图像采集器(6)由将光信号转换成图像信号的CCD摄像机构成,该计算机处理系统(7)由图像处理单元(10)、图像采集器(6)及控制单元(11)组成。

5.一种焊头定位精度检测方法,其特征在于使用权利要求1所述的焊头定位精度检测系统,其包括以下步骤:

1)设于焊头吸嘴(3)上方的光源(4)发出光线,光线经由位于粘片点(2)下的反光镜(1)反射,射向设于焊头吸嘴(3)上的图像采集器(6)。当依程序焊头吸嘴(3)应当到达粘片点时,控制单元(11)发出触发脉冲,图像采集器(6)采集得到吸嘴内孔的轮廓图像;

2)图像采集器(6)采集光信号,并将其转换为图像信号;

3)将图像信号传送至计算机处理系统(7)进行图像处理,将图像中的像素单位转化为测量单位,并得到图像的几何中心坐标信息,从而实现对焊头吸嘴(3)定位精度的检测。

6.根据权利要求5所述的焊头定位精度检测方法,其特征在于:在步骤2)和3)中,该图像采集器(6)为CCD摄像机,该计算机处理系统(7)包括图像处理单元(10)及控制单元(11),该控制单元(11)对图像采集器(6)及图像处理单元(10)发出触发脉冲后,图像处理单元(10)对图像信号进行处理,将其像素单位转化为测量单位,得到图像的几何中心坐标信息。

7.根据权利要求6所述的焊头定位精度检测方法,其特征在于:焊头吸嘴(3)每两次到达粘片点(2)时,该控制单元(11)对图像采集器(6)及图像处理单元(10)发送一次触发脉冲,完成图像的采集及处理过程。

8.根据权利要求5所述的焊头定位精度检测方法,其特征在于:在步骤(3)中,对图像的处理时,采用游标卡尺标定方式对所采集到的图像进行标定,调整游标卡尺的两尺钳开口的距离,采集两尺钳开口的图像,通过两尺钳开口的距离尺寸与相应两尺钳开口图像的像素,得到测量图像的尺寸与像素之间的比例关系。

9.根据权利要求5至8任一项所述的焊头定位精度检测方法,其特征在于:该计算机处理系统(7)对图像进行处理时还包括以下步骤:

a.图像增强:

采用直方图指数化处理,对图像灰度进行特定计算及转换;

b.图像阈值分割,进行二值化处理:

对此图像再进行一次二值化,将灰度图像转化成黑白图像,二值化处理后目标物体取白色,背景取黑色;

c.图像数学形态化:

本系统采用形态学的基本运算对二值化后的图像进行区域填充,以使图像中不连续部分封闭;

本系统采用形态学的闭运算对图像进行进一步处理,使图像在阈值化后所得到边界平滑,闭运算采用3×3结构元素进行逻辑运算;

闭运算后图像进一步平滑,再对图像进行凸壳函数运算;

d.粒子分析,求中心坐标:

将目标物所需要的检测几何信息通过电子表格列出;

e.焊头检测系统界面和误差分析:

系统每采集一次图像,均对图像进行一次上述图像处理,并把粒子分析后的结果显示并保存。

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