[发明专利]平板显示器玻璃蚀刻液

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃蚀刻液，尤其是涉及一种应用于平板显示器FPD中的显示屏(包括TN、STN、CSTN、TFT、TP、OLED等)玻璃基板薄化的玻璃蚀刻液。

背景技术

液晶显示屏目前通常的减薄方法有两种，一为物理抛光研磨，一为化学蚀刻，其中化学薄化玻璃有以下几个特点：

1.薄化时间短；

2.薄化产量较高；

3.成分简单，配制比较容易。

目前，有进行FPD玻璃减薄的厂家，大部分是以氢氟酸为主要原料，且有些仅使用单一氢氟酸溶液，这种做法存在以下缺点：1，直接接触氢氟酸，毒性高，且该药液易产生氢氟酸气体，生产过程中特别是配制时危险性高，如果辅以加热，则危险性更高；2，蚀刻过程产生白色难溶物，容易悬浮在蚀刻液中及粘附于管道槽壁，难于处理。而且该难溶物吸附性较强，容易粘附在FPD玻璃表面，对FPD玻璃外观良品率以及后处理造成了很大的影响；3，生产过程中速率不稳定且利用率较低；4.由于利用率低，废液处理困难，与之相配套的废液处理成本较高。

随着薄化FPD市场发展越来越大，FPD玻璃的减薄将有越来越多的企业加入，氢氟酸用量的增加将加大对环境的伤害，这一技术应尽早淘汰，使用安全有效的新技术将成为FPD玻璃薄化的趋势。

发明内容

本发明的目的在于能为FPD玻璃蚀刻提供安全、稳定、高效的生产环境，同时较好的处理蚀刻难溶物问题以及提高良品率的玻璃蚀刻液。

本发明的目的可以通过以下技术措施来实现：一种玻璃蚀刻液，包含以下按重量份数计的组成成分：

氟化氢铵9～15份 强酸50～59份 纯水22～26份。

本发明所述的强酸为45％～60％硫酸。

本发明所述的强酸为硫酸和盐酸，其中45％～60％硫酸36～41份，36％～37％盐酸14～18份。

本发明所述的强酸为硫酸和硝酸，其中45％～60％硫酸44～52份，30％～35％硝酸6～7份。

本发明所述的强酸为硫酸、盐酸和硝酸，其中45％～60％硫酸33～37份，36％～37％盐酸12～15份，30％～35％硝酸5～7份。

本发明与现有技术相比，具有以下的优点和效果：

1)毒性小、无污染：本发明的溶液配方原料相对与HF酸溶液，毒性低很多，氟化氢铵为固体、硫酸及硝酸溶液浓度较小、盐酸毒性低，都是危险性低、易处理，配制成溶液后，无挥发问题，药液安全性较好；人员不小心接触后经过水冲洗和涂搽葡萄糖酸钙等简单处理后即可；

2)蚀刻速率快、利用率高：本发明的溶液配方相对HF酸溶液，蚀刻速度提高了1～2微米/分钟，最高可达到6.5微米/分钟；药液利用率提高了60～80％；从利用率计算，废酸处理的量亦下降了50％左右，不但提高了效率，成本也大大地降低；

3)改善了蚀刻难溶物问题以及提高了良品率：本发明的配方和FPD玻璃反应生成了不同于氢氟酸和FPD玻璃反应生成的物质，该难溶物量少并不带有吸附性，易沉淀，蚀刻液始终为澄清状态，优于氢氟酸蚀刻液使用后的浑浊状态；沉淀为糊状物，不具吸附性也不易结块，极易冲洗；

综上所述，本发明的蚀刻液是比氢氟酸蚀刻液更为先进的一种玻璃薄化配方，无论从安全性、环境污染、稳定性、速率、良率来看各方面都优于氢氟酸蚀刻液的先进配方，是未来FPD玻璃薄化的新型工艺用料。

具体实施方式

实例1

将按重量份称取的氟化氢铵10份、55％硫酸55份、纯水24份倒入容器中，搅拌均匀后即得蚀刻液。

实例2

将按重量份称取的氟化氢铵14份、60％硫酸38份、37％盐酸15份、纯水23份倒入容器中，搅拌均匀后即得蚀刻液。

实例3

将按重量份称取的氟化氢铵10份、55％硫酸48份、30％硝酸6份、纯水23份倒入容器中，室温搅拌均匀后即得蚀刻液。

实例4

将按重量份称取的氟化氢铵12份、50％硫酸39份、37％盐酸17份、纯水25份倒入容器中，搅拌均匀后即得蚀刻液。

实例5

将按重量份称取的氟化氢铵15份、45％硫酸35份，36％盐酸13份，32％硝酸5份倒入容器中，搅拌均匀后即得蚀刻液。

本发明玻璃蚀刻液将厚度为1.000mm的TFT(薄膜晶体管)玻璃减薄为0.800mm的过程如下：