[发明专利]多孔阳极氧化铝湿度传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种多孔阳极氧化铝湿度传感器，包括多孔阳极氧化铝膜，多孔阳极氧化铝膜片上下表面设有金属膜电极，其特征在于，所述金属膜电极为多孔金属膜电极，多孔阳极氧化铝膜片和多孔金属膜电极上的孔洞沿膜片厚度方向连通并在上下表面开口。

2.根据权利要求1所述多孔阳极氧化铝湿度传感器，其特征在于所述多孔金属膜电极为金或铝膜电极。

3.根据权利要求1所述多孔阳极氧化铝湿度传感器，其特征在于所述阳极氧化铝膜片的孔洞直径为40～90nm，厚度是50～120μm。

4.根据权利要求1所述多孔阳极氧化铝湿度传感器，其特征在于多孔金属电极膜电极的孔洞直径为10～70nm、厚度为150～300nm。

5.权利要求1所述多孔阳极氧化铝湿度传感器的制备方法，其特征在于首先采用两步阳极氧化法制备多孔阳极氧化铝膜片，然后采用磁控溅射法在多孔阳极氧化铝膜片上下表面制备多孔金属电极，形成多孔阳极氧化铝湿度传感器。

6.根据权利要求5所述的多孔阳极氧化铝湿度传感器的制备方法，其特征在于两步阳极氧化法制备多孔阳极氧化铝膜片是在0.3～0.5mol/L草酸溶液中进行；第一步阳极氧化后，用磷酸与铬酸混合液完全溶解氧化铝层；第二步阳极氧化后，在室温下用饱和氯化铜或氯化汞溶液通过置换反应去除未被氧化的金属铝基体，用磷酸去除阻挡势垒层、腐蚀扩孔获得双通孔结构阳极氧化铝膜片。

7.根据权利要求5所述的多孔阳极氧化铝湿度传感器的制备方法，其特征在于所述磁控溅射法在多孔阳极氧化铝膜片上下表面制备多孔金属电极是以纯度高纯金或者铝为靶材，在本底真空＞1×10^-4Pa、沉积真空0.5～2Pa、氩气流量1～5sccm、溅射功率10～20W、衬底温度25～500℃条件下，由射频磁控溅射在阳极氧化铝膜片上下表面，制备出多孔阳极氧化铝湿度传感器。