[发明专利]一种椭偏测量装置

权利要求书

1.一种椭偏测量装置，包括入射臂、样品旋转平台(12)、出射臂，所述入射臂包括光源(10)、起偏器(1)、1/4波片(2)，所述出射臂包括检偏器(7)、光电探测器(9)，入射臂的光轴和出射臂的光轴相交于样品旋转平台(12)的转动轴，入射臂和出射臂所组成的入射面与样品旋转平台(12)的转动轴垂直；入射臂、出射臂和样品旋转平台(12)可绕该转动轴旋转，以改变在样品旋转平台(12)上的样品(3)的入射角；

其特征在于：所述出射臂还包括透镜空间滤波组件(13)，透镜空间滤波组件(13)在样品旋转平台(12)和检偏器(7)之间，经样品(3)反射的散射光由透镜空间滤波组件(13)选择出平行于出射臂的光轴的平行光，所述透镜空间滤波组件(13)包括小孔光阑(4)、透镜(5)和空间滤波器(6)，并依次按透镜(5)光轴共轴放置，小孔光阑(4)在靠近样品旋转平台(12)一侧，透镜(5)靠近光阑(4)放置，透镜(5)与样品(3)之间距离约等于透镜(5)的焦距，空间滤波器(6)位于透镜(5)后焦平面上。

2.根据权利要求1所述的椭偏测量装置，其特征在于：所述小孔光阑(4)为方形或圆形，大小可调整固定。

3.根据权利要求2所述的椭偏测量装置，其特征在于：所述透镜(5)为傅立叶变换单透镜。

4.根据权利要求3所述的椭偏测量装置，其特征在于：所述入射臂还包括光束处理组件(11)，光束处理组件(11)位于光源(10)与起偏器(1)之间，由偏振片或偏振器(111)、1/4波片(112)和小孔光阑(113)组成，偏振片或偏振器(111)靠近光源，1/4波片(112)在偏振片或偏振器(111)和小孔光阑(113)中间。

5.根据权利要求4所述的椭偏测量装置，其特征在于：所述光源(10)带三维微调和准直机构。

6.根据权利要求5所述的椭偏测量装置，其特征在于：所述样品旋转平台(12)带有样品夹持装置，样品夹持装置具有三维微调机构。

7.根据权利要求6所述的椭偏测量装置，其特征在于：所述出射臂的检偏器(7)和光电探测器(9)之间还放置了一个聚光透镜(8)。

8.根据权利要求7所述的椭偏测量装置，其特征在于还包括信号处理、控制及计算机系统(14)，该系统(14)与样品旋转平台(12)、起偏器(1)、检偏器(7)和光电探测器(9)相连接，可控制、采集起偏器(1)、检偏器(7)的角度值，可采集入射到光电探测器(9)的光强，可控制入射臂、出射臂和样品旋转平台(12)的旋转。