[发明专利]太阳能硅片的切割制绒一体化加工方法及装置

权利要求书

1、一种太阳能硅片的切割制绒一体化加工方法，其特征是：

首先，以钼丝或钨丝作为工具电极，使走丝速度在1～15m/s之间可调，对太阳能硅棒或硅锭进行电火花电解复合切割及制绒一体化加工；

其次，在加工过程中，脉冲电源的电压脉冲宽度在1-128μs之间可调，电压幅值0～100V可调，同时保证在脉冲间隔内仍维持足以使太阳能硅棒或硅锭表面产生电化学腐蚀的直流电压，该直流电压幅值应低于正常放电间隙的击穿电压；

第三，在电极丝切割区域内喷射电导率为0.1～10ms/cm的工作液，以满足冷却和电化学腐蚀的需要。

2、根据权利要求1所述的太阳能硅片的切割制绒一体化加工方法，其特征是所述的硅锭为电阻率介于0.01～100Ω·cm之间的多晶硅锭，所述的硅棒为电阻率介于0.01～100Ω·cm之间的单晶硅棒。

3、根据权利要求1所述的太阳能硅片的切割制绒一体化加工方法，其特征是所述的工作液由8～10％的油酸，2～3％的三乙醇氨，2～4％的KOH，1～1.5％的十二烷基硫酸钠，1～2％的钼酸钠，1～2％的硼砂，5～6％的植物油，4～6％的松香，1.5～2％的甘油，0.2～0.5％的硅油，1.5～2％的OP乳化剂，及余量的工业纯净水组成。

4、一种太阳能硅片的切割制绒一体化加工装置，包括控制系统(1)、脉冲电源(2)、XY工作台(6)、电极丝(11)，其特征是所述的脉冲电源(2)为高频脉冲电源，它的脉宽范围在1～128μs之间可调，所述的工件(10)安装在XY工作台(6)上，XY工作台(6)的X向和Y向驱动机构均受控于控制系统(1)，电极丝(11)穿过XY工作台(6)、工件(10)后绕装在丝筒(12)上，丝筒(12)连接有丝筒电机(13)，丝筒电机(13)通过变频器(14)与控制系统(1)相连，脉冲电源(2)的输出正极与工件(10)相连，其输出负极与电极丝(11)相连，脉冲电源(2)的控制端与控制系统(1)相连，在工件(10)的上表面附近安装有上喷嘴(5)，在工件(10)的下表面附近安装有下喷嘴(9)，上喷嘴(5)和下喷嘴(9)均与液压泵(7)的输出端相连，液压泵(7)的输入端位于复合工作液槽(8)中；在工作台上方还安装有显示器(4)和用于检测放电电流的霍尔传感器(3)。