[发明专利]一种能够快速均匀混合气体的微混合器及其制备方法无效
| 申请号： | 200710024692.3 | 申请日： | 2007-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN101091887A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 丁建宁;马春红;潘剑峰;程广贵 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | B01F5/06 | 分类号： | B01F5/06;B01F3/02 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 212013江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 能够 快速 均匀 混合气体 混合器 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种能够快速均匀混合气体的微混合器，其特征在于：在原有的微型T混合器的混合通道内加入了凸脊，凸脊高度与混合通道深度一致，凸脊的宽度为混合通道的一半，长度与宽度一致，凸脊沿混合通道两边错开分布，相邻凸脊之间相隔一个凸脊的宽度，且对错均匀排列。
2、根据权利要求1所述的一种能够快速均匀混合气体的微混合器，其特征在于：凸脊个数
3、权利要求1所述的一种能够快速均匀混合气体的微混合器的制备方法，其特征在于：先在两面抛光的硅板上刻蚀出一个与反应量相对应体积大小的带有凸脊的T型通道，凸脊的个数
4、权利要求3所述的一种能够快速均匀混合气体的微混合器的制备方法，其特征在于：用干法刻蚀的方法或是深离子反应刻蚀技术微加工技术刻蚀出一个与反应量相对应体积大小的带有凸脊的T型通道。
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