[发明专利]高精度光辐射标准探测器空间响应均匀性测量系统和方法

权利要求书

1、高精度光辐射标准探测器空间响应均匀性测量系统，包括有单面元光电探测器，其特征在于光学平台上安装有激光器，激光器前端安装有单面元光电探测器，单面元光电探测器的探测面和激光器发出的光束垂直，单面元光电探测器安装在一个能沿水平方向和垂直方向运动的二维平台上，二维平台由二维步进电机驱动，二维步进电机由计算机控制；单面元光电探测器的信号输出端经过信号采集器输出计算机处理。

2、根据权利要求1所述的高精度光辐射标准探测器空间响应均匀性测量系统，其特征在于所述的激光器与单面元探测器之间的光路中依次安装有偏振片、激光功率控制器、空间滤波器、分束片。

3、高精度光辐射标准探测器空间响应均匀性测量方法，其特征在于是将激光器发出的激光，入射到单面元光电探测器的探测面上，控制单面元光电探测器的探测面在水平与垂直方向移动，这样探测面的每个区域均被同一激光器发出的激光扫描，通过采集处理单面元探测器输出的电信号，则可以测量该单面元光电探测器的空间响应均匀性。

4、根据权利要求3所述的高精度光辐射标准探测器空间响应均匀性测量方法，其特征在于其特征在于所述的激光器发出的激光，在不同时间其光斑大小相同。