[发明专利]有序孔阵列透射式波长计及其测量方法

权利要求书

1.一种有序孔阵列透射式波长计，包括平行光源(1)和其光路上的半透镜和平面镜，以及移动台，其特征在于：

(a)所说平行光源(1)的入射角与所说半透镜相垂直；

(b)所说半透镜或平面镜位于移动台上；

(c)所说半透镜由透明衬底(2)和有序孔阵列(3)构成，所说有序孔阵列(3)的孔阵列周期为200nm～20μm；

(d)所说平面镜为显示屏(5)，所说显示屏(5)位于所说透明衬底(2)的附有有序孔阵列(3)的一侧，且与所说有序孔阵列(3)间的距离为20cm～1m。

2.根据权利要求1所述的有序孔阵列透射式波长计，其特征是有序孔阵列(3)为二维多畴有序孔阵列，其层数为一层，孔形为圆孔、且呈六方排列。

3.根据权利要求1所述的有序孔阵列透射式波长计，其特征是显示屏(5)为漫反射屏幕或光敏传感器，所说漫反射屏幕或光敏传感器位于移动台上，且与有序孔阵列(3)平行设置。

4.根据权利要求3所述的有序孔阵列透射式波长计，其特征是光敏传感器的输出端与控制器(11)的输入端电连接。

5.根据权利要求1或4所述的有序孔阵列透射式波长计，其特征是移动台包含工作平台(6)和与其动配合连接的导轨(7)，以及连接工作平台(6)与导轨(7)的丝杠螺母付，所说丝杠螺母付中的螺母(12)与工作平台(6)固定连接，丝杠(8)与导轨(7)动配合连接。

6.根据权利要求5所述的有序孔阵列透射式波长计，其特征是移动台的丝杠(8)轴与步进电机(9)的转动轴连接。

7.根据权利要求6所述的有序孔阵列透射式波长计，其特征是步进电机(9)的输入端与步进电机电源(10)的输出端电连接。

8.根据权利要求7所述的有序孔阵列透射式波长计，其特征是步进电机电源(10)的输入端与控制器(11)的输出端电连接。

9.根据权利要求1所述的有序孔阵列透射式波长计的测量方法，包括接收平行光和输出干涉光，其特征在于所说方法包含以下步骤：

(a)设定测量的精度，即选择有序孔阵列与显示屏间的距离；

(b)根据显示屏上有无衍射斑点或衍射环，确定有序孔阵列的孔阵列周期幅度的增减，即对于显示屏上无衍射斑点或衍射环时，选择更大周期的有序孔阵列，对于显示屏上衍射斑点或衍射环太小，无法测量时，选择更小周期的有序孔阵列；

(c)测量显示屏上的衍射斑点或衍射环的半径；

(d)通过公式λ=2amm2+l2]]>确定波长，式中，λ为入射光波长、2a为有序孔阵列中相邻两孔的间距、m为衍射斑点或衍射环的半径、1为有序孔阵列与显示屏间的距离。

10.根据权利要求9所述的有序孔阵列透射式波长计的测量方法，其特征是根据公式δm＝Kδλ和K=l2a[1-(λ2a)2]3/2,]]>得出测量误差，变更测量的精度，则重新设定测量的精度。