[发明专利]一种三氯氢硅生产尾气回收方法有效
| 申请号： | 200710018581.1 | 申请日： | 2007-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN101125276A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 魏涛;孙文;廖端友;汪玉林;郑云峰;程惠亭;闫小茹 | 申请（专利权）人： | 浙江开化合成材料有限公司;华陆工程科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D53/22 | 分类号： | B01D53/22;B01D5/00;C01B33/107 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李郑建 |
| 地址： | 324300*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 生产 尾气 回收 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氯氢硅生产尾气回收方法，其特征在于，该方法将流化床反应器生产尾气冷凝后的不凝气体送入压缩机过压缩后进入氢气膜分离器分离氢气，氢气膜分离器的非渗透气送入回收冷凝器中，经过回收冷凝器进一步冷凝后，得到三氯氢硅、四氯化硅以及氯化氢，其中的氯化氢重新作为原料返回流化床反应器使用，三氯氢硅和四氯化硅则为回收的产品。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的压缩机的出口压力为0.65MPa，以满足膜分离器要求。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的非渗透气经过回收冷凝器冷到-35℃。
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