[发明专利]一种成像光谱测量装置

权利要求书

1.一种成像光谱测量装置，包括光谱成像相机，其特征在于：该装置还包括有与光谱成像相机连接的光路测量补偿装置，该光路测量补偿装置包括反射镜和可变形镜DM，所述可变形镜DM设置在光谱成像相机的入射光路上，所述反射镜设置在可变形镜DM的入射光路上。

2.根据权利要求1所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于：所述光路测量补偿装置还包括有DM驱动回路、波相差测量单元、窄带滤光片和半透半反射镜，所述可变形镜DM通过DM驱动回路与波相差测量单元连接，所述半透半反射镜设置在光谱成像相机的出射光路上，所述窄带滤光片和波相差测量单元依次设置在半透半反射镜的反射光路上。

3.根据权利要求1所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于：所述光谱成像相机的出射光路上设置有光谱信息接收单元。

4.根据权利要求1所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于：所述反射镜的入射光路上设置有准直镜。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于：所述光谱成像相机为色散型光谱相机或干涉型光谱成像相机。

6.根据权利要求1或2或3或4所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于：所述可变形镜DM是可变形平面镜或双压电晶片镜或可变形的次镜、膜镜或液晶镜。

7.根据权利要求2或3或4所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于：所述DM驱动回路为压电式DM驱动回路或电致伸缩式DM驱动回路或磁致伸缩式DM驱动回路。

8.根据权利要求2或3或4所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于：所述波相差测量单元为干涉仪或传感器。

9.根据权利要求8所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于：所述干涉仪为点衍射干涉仪或迈克马则干涉仪或横向剪切干涉仪。

10.根据权利要求8所述的一种成像光谱测量装置，其特征在于：所述传感器为波阵面传感器或棱锥波阵面传感器或标准波阵面传感器。