[发明专利]基于单光栅的超高精度定位测量装置和测量方法无效
申请号: | 200710017448.4 | 申请日: | 2007-02-16 |
公开(公告)号: | CN101033945A | 公开(公告)日: | 2007-09-12 |
发明(设计)人: | 杨川;王光亮 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G01B11/04 | 分类号: | G01B11/04 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710049*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 光栅 超高 精度 定位 测量 装置 测量方法 | ||
【说明书】:
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