[发明专利]加速度传感器

说明书

一、技术领域：本发明涉及一种用于一般测量的敏感器件传感器，尤其是一种加速度传感器。

二、背景技术：已有的传感器，其位移以负加速度的大小而异，加工工艺要求高，滑动摩擦力较大，给精度带来的影响大。而金属应变式采用胶粘剂粘接，有迟滞、重复性差，体积大等缺点。压电式的输出阻抗高，信号放大前需要进行阻抗变换，且无法测量恒定加速度。硅压阻式虽然克服了上述缺陷，但是其存在的不足是设备投资大，制造工艺复杂，生产周期长，产品成本较高。

三、发明内容：本发明的目的在于提供一种结构简单、安装简便不仅具有硅压阻式的优点，同时设备投资少，制造工艺简单，生产周期短，产品成本低。加速度传感器包括金属外壳1和金属外壳1相封接的金属支架6，在金属支架6上设有引线管脚7，在金属外壳1内设有底板5，在底板5上设有垫块3，垫块3上设有条形AL₂O₃陶瓷悬臂梁4，陶瓷悬臂梁4上设有构成惠斯通电桥的厚膜电阻9，AL₂O₃陶瓷底板5与金属支架6连接，AL₂O₃陶瓷底板5上印制有银钯导带或者金导带10。采用上述结构以后，当传感器受到加速度力作用时，上述陶瓷弹性梁产生震动，该运动在弹性梁上形成的应力使弹性梁上的厚膜电阻产生压阻效应，并通过惠斯通电桥形成电压信号输出。上述产品的生产工艺大部分兼容厚膜生产工艺，因而设备投资小，生产工艺简单，产品生产周期短，产品成本低，因而工作性能优良。

四、附图说明：附图1为本发明的结构示意图。

附图2为图1的A-A剖视图。

附图3为厚膜电阻惠斯通电桥电路连接图。

五、具体实施例：以下结合附图进一步说明。

图1和图2所示：加速度传感器包括金属外壳1，金属外壳1内充有甲基硅油2，陶瓷底板5连接在金属支架6上，在金属支架6上设有引线管脚7，在底板5上设有垫块3，垫块3上设有条形AL₂O₃陶瓷悬臂梁4，陶瓷悬臂梁4上设有构成惠斯通电桥的厚膜电阻9，AL₂O₃陶瓷底板5上印制有银钯导带或者金导带10，用于同厚膜电阻9构成惠斯通电桥的相关电路连接，其陶瓷悬臂梁4、垫块3、陶瓷底板5的连接方式可由低温玻璃烧结，或者用印制的银钯导带焊接，或者胶结。图3的a图b图分别为厚膜电阻惠斯通电桥的不同连接方式。