[发明专利]一种亚稳态储能粒子－SiO(b3П)的合成装置

权利要求书

1.一种亚稳态储能粒子-SiO(b³∏)的合成装置，包括SiH₄储气瓶(1)、氦气储气瓶(2)、N₂O储气瓶(18)、载气储气瓶(19)、高温热解炉(11)、透镜(13)和光谱仪(12)，其特征在于：

高温热解炉(11)为管式结构，其由外向内依次为整体的不锈钢密封外壳、石棉保温层(10)和SiC管高温炉膛(9)，在炉膛(9)的中部轴向设置有热电偶(6)，在炉膛(9)的SiC管外壁上缠绕有高温电热丝；

SiH₄储气瓶(1)和氦气储气瓶(2)通过管路经第一气体混合器(4)与高温热解炉(11)的气体入口相连，在高温热解炉(11)的气体出口外侧设置有N₂O及其载气的喷嘴(14)，喷嘴(14)通过管路经第二气体混合器(20)与N₂O储气瓶(18)和载气储气瓶(19)相连，N₂O与高温热解炉(11)气体出口的主气流相交反应，形成反应区，在反应区的外侧沿高温热解炉(11)的径向设置有观测筒(15)，观测筒(15)内为测试区域(17)，观测筒(15)通过管路与真空系统(16)连接，观测筒(15)外端依次设置有透镜(13)和光谱仪(12)，观测筒(15)、透镜(13)和光谱仪(12)光路连接；光谱仪(12)通过线路与计算机(8)信号连接。

2.按照权利要求1所述合成装置，其特征在于：所述热电偶(6)和高温电热丝通过线路与一温度控制器(7)电连接。

3.按照权利要求1所述合成装置，其特征在于：在SiH₄储气瓶(1)、氦气储气瓶(2)、N₂O储气瓶(18)及载气储气瓶(19)的气体出口管路上分别设置有流量控制器(3)。

4.按照权利要求1所述合成装置，其特征在于：在高温热解炉(11)的气体入口和气体出口处均设置有硅橡胶密封垫圈。