[发明专利]质子交换膜燃料电池不锈钢双极板离子镀膜改性方法

权利要求书

1.质子交换膜燃料电池不锈钢双极板离子镀膜改性方法，其特征在于：镀膜改性的工艺为：将不锈钢薄板双极板经过清洗干燥等前处理后放入电弧离子镀设备的真空室中，依次进行抽真空、离子溅射清洗、薄膜沉积和后处理等过程，其中薄膜沉积过程包括启动阴极电弧、调整弧电流、加偏压、通入反应气体，在双极板表面沉积制备改性薄膜；所述调整弧电流的调整范围为35A-150A；所述加偏压为直流偏压叠加脉冲偏压，其中直流偏压为0V-500V，脉冲偏压各参数中幅值为50V-1000V，频率为0kHz-60kHz，占空比为5％-80％；所述通入反应气体为氮气，通入量为0sccm-500sccm，氮气分压为0.1Pa-0.9Pa。

2.根据权利要求1所述的质子交换膜燃料电池不锈钢双极板离子镀膜改性方法，其特征在于：所述启动阴极电弧为铬弧、铬镍弧和石墨弧，可以启动一种阴极电弧，也可以启动两种以上的阴极电弧。

3.根据权利要求1所述的质子交换膜燃料电池不锈钢双极板离子镀膜改性方法，，其特征在于：所述调整弧电流为将电弧蒸发电流调整固定值、使弧电流随时间连续或阶跃变化。

4.根据权利要求1所述的质子交换膜燃料电池不锈钢双极板离子镀膜改性方法，，其特征在于：所述通入反应气体为氮气，通入方法为通入量不随时间变化、通入量随时间间歇变化或通入量随时间逐渐变化。