[发明专利]非接触漫射固化曝光的系统、方法和装置

权利要求书

1.一种压印装置，包括：

具有开口的膜支承件；

膜，安装到该膜支承件使得该膜跨该膜支承件中的开口延伸且密封；

板，与所述膜相邻以用于允许至少一些UV光穿过它，该板具有轴且该板沿径向延伸；

凝胶垫，安装到该板；

压模，安装到该凝胶垫；

母模，与所述压模相邻且位于所述压模的与所述凝胶垫相反的一侧，且具有带压印特征的接触表面；以及

UV束漫射器，与所述膜相邻且位于所述膜的与所述板相反的一侧，以用于将准直UV入射束漫射成随机化的UV入射束。

2.根据权利要求1的压印装置，其中该凝胶垫包括两部分，该两部分包括与所述板和压模轴对准的内部分、以及与所述内部分径向间隔开的外部分。

3.根据权利要求2的压印装置，其中该凝胶垫的内部分是圆柱形的，该凝胶垫的外部分具有环状形状且与所述内部分轴对准。

4.根据权利要求2的压印装置，其中定义在该凝胶垫的所述内和外部分之间的径向空间与所述母模的所述接触表面上的压印特征的径向位置一致。

5.根据权利要求2的压印装置，其中所述凝胶垫的内部分的外径等于或小于所述压印特征的内径，所述凝胶垫的外部分的内径大于或等于所述压印特征的外径。

6.根据权利要求1的压印装置，其中该凝胶垫的最大直径超过所述压模的最大直径。

7.根据权利要求1的压印装置，其中该压模是截头圆锥体形状且具有一上表面，该上表面的直径超过下表面的直径。

8.一种用于光聚物压模制造的压印系统，包括：

膜支承件，具有开口；

膜，安装到该膜支承件，使得该膜跨所述膜支承件中的开口延伸且密封；

板，与所述膜相邻以用于允许至少一些UV光穿过它，该板具有轴且该板沿径向延伸；

凝胶垫，安装到该板且包括与该板轴对准的内部分、以及与该内部分径向间隔开的外部分；

子压模，安装到该凝胶垫；

母模，与该子压模相邻且位于该子压模的与该凝胶垫相反的一侧，且具有带压印特征的接触表面；

光聚物抗蚀剂层，位于该母模与该子压模之间，用于形成图案在该子压模上；以及

UV束漫射器，与所述膜相邻且位于所述膜的与所述板相反的一侧以用于将准直UV入射束漫射为在所述光聚物抗蚀剂处的随机化UV入射束。

9.根据权利要求8的压印系统，其中该凝胶垫的内部分是圆柱形的，该凝胶垫的外部分具有环状形状且与该内部分轴对准。

10.根据权利要求8的压印系统，其中定义在该凝胶垫的所述内和外部分之间的径向空间与所述母模的所述接触表面上的压印特征的径向位置一致。

11.根据权利要求8的压印系统，其中该凝胶垫的所述内部分的外径等于或小于所述压印特征的内径，所述凝胶垫的所述外部分的内径大于或等于所述压印特征的外径。

12.根据权利要求8的压印系统，其中所述凝胶垫的最大直径超过所述子压模的最大直径。

13.根据权利要求8的压印系统，其中所述子压模是截头圆锥体形状且具有一上表面，该上表面的直径比下表面的直径大。

14.一种制造光聚物压模的方法，包括：

(a)配置具有内部分和与该内部分径向间隔开的外部分的凝胶垫；

(b)安装子压模到该凝胶垫；

(c)放置光聚物抗蚀剂在具有图案化区域的母模上；

(d)使该子压模与该母模之间接触使得该凝胶垫避免压在该母模的所述图案化区域上；

(e)将朝向所述光聚物抗蚀剂发射的准直UV束漫射成随机UV入射束以固化所述光聚物抗蚀剂；及

(f)释放所述子压模和母模使得图案通过固化的光聚物抗蚀剂形成在该子压模上。

15.根据权利要求14所述的方法，还包括配置所述凝胶垫的该内部分为圆柱形的，以及配置该凝胶垫的所述外部分为与所述内部分轴对准的环状形状。

16.根据权利要求14所述的方法，还包括定义所述凝胶垫的所述内和外部分之间的径向空间与所述母模的图案化区域的径向位置一致。