[发明专利]介质阻挡分区放电通道系统无效

专利信息
申请号: 200710003408.4 申请日: 2007-02-05
公开(公告)号: CN101242706A 公开(公告)日: 2008-08-13
发明(设计)人: 王守国 申请(专利权)人: 中国科学院光电研究院
主分类号: H05H1/46 分类号: H05H1/46;H05H1/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100010北京市东城*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 介质 阻挡 分区 放电 通道 系统
【权利要求书】:

1. 一种介质阻挡分区放电通道系统,包括一个控制壳体,高频电源系统,供气源,等离子体放电主体,其特征在于:在一个控制壳体内部设有高频高压电源和气体流量计,在壳体的正面为系统控制板面,在壳体的上面设有上下平行的、带有水冷电极的、经过钢化的玻璃板,在上下玻璃板之间设有两个相同的绝缘板,该两个绝缘板与上下两块玻璃板围成一个长方体的通道,在上玻璃极板的中间位置设有进气孔,在进气孔两侧的上表面贴覆两个对称电极,称为上电极,在下玻璃板的下表面贴覆一个与地连接的电极,称为地电极。

2. 如权利要求1所述的一种介质阻挡分区放电通道系统,其特征在于:控制壳体内部设有高频高压电源和气体流量计,在控制壳体的正面安装有电源控制开关和气体控制开关。

3. 如权利要求1所述的一种介质阻挡分区放电通道系统,其特征在于:该高频高压电源的放电频率范围为:1-100KHz,放电电压范围为:4-15KV,该射频放电是在常压下进行的。

4. 如权利要求1所述的一种介质阻挡分区放电通道系统,其特征在于:在壳体的上面设有两个平行的、带有水冷电极的、具有一定间隙的、经过钢化的玻璃板,该两个钢化玻璃板构成了上下双介质。

5. 如权利要求1和4所述的一种介质阻挡分区放电通道系统,其特征在于:在该双介质玻璃板的两侧垫有两个长条形状的绝缘板,使两侧的绝缘板和上下两个玻璃板围成一个两端开口的长方体放电通道,两侧绝缘板选用的厚度范围为1-3毫米,该厚度决定通道的放电间隙,通道的宽度范围是30-500毫米,长度范围是400-2000毫米。

6. 如权利要求1或4所述的一种介质阻挡分区放电通道系统,其特征在于:在上玻璃极板的中间部位设有进气孔,在进气孔两侧的上表面贴覆两个对称电极,称为上电极,该上电极与电源的高压输出端连接;在下玻璃板的下表面贴覆一个与地连接的电极,称为地电极;该上电极和地电极设有水冷管。

7. 如权利要求1所述的一种介质阻挡分区放电通道系统,其特征在于:在上玻璃极板的中间部位设有进气孔,该进气孔通过进气导管、气体流量控制阀门与气源连接,该气源是氩气或氦气,氩气或氦气与反应气体的混合气体。

8. 如权利要求1所述的一种介质阻挡分区放电通道系统,其特征在于:在放电通道的两端分别安装有导向滑轮。

9. 如权利要求1所述的一种介质阻挡分区放电通道系统,其特征在于:在壳体的上面设有一个排气罩。

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