[发明专利]静电吸盘的馈电结构及其制造方法以及静电吸盘的馈电结构的再生方法

权利要求书

1.一种在金属底板的上表面侧以离金属底板从近到远的顺序具备下部绝缘层、电极层以及表面绝缘介电层的静电吸盘的馈电结构，其特征在于，

所述静电吸盘具备：

贯通孔，贯通所述金属底板的上下表面间；

馈电端子，配设在该贯通孔内，将从金属底板的下表面侧供给的电压供给至层叠在上表面侧的电极层；以及

绝缘保持部件，由电气绝缘性材料形成，使所述贯通孔的内壁与馈电端子之间绝缘，并且保持所述馈电端子，

其中，所述馈电端子具有向金属底板的上表面侧凸出的馈电侧端部，

该馈电侧端部的前端，处于所述电极层和下部绝缘层的界面的电极层侧，并位于所述电极层与表面绝缘介电层的界面以下。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘的馈电结构，其特征在于，

馈电端子的馈电侧端部形成为在前端具有预定面积的顶面、并随着趋向前端直径逐渐缩小的凸起状。

3.根据权利要求2所述的静电吸盘的馈电结构，其特征在于，

至少与下部绝缘层接触的馈电端子的馈电侧端部的侧面为具有预定的曲率的曲面。

4.根据权利要求1所述的静电吸盘的馈电结构，其特征在于，

馈电端子由金属钛形成。

5.根据权利要求1所述的静电吸盘的馈电结构，其特征在于，

绝缘保持部件至少在金属底板的上表面侧露出的部分由多孔质陶瓷构成，下部绝缘层以接触所述多孔质陶瓷的方式喷镀陶瓷粉末而构成。

6.一种在金属底板的上表面侧以离金属底板从近到远的顺序具备下部绝缘层、电极层以及表面绝缘介电层的静电吸盘的馈电结构的制造方法，其特征在于，

所述静电吸盘具备：

贯通孔，贯通所述金属底板的上下表面间；

馈电端子，配设在该贯通孔内，将从金属底板的下表面侧供给的电压供给至层叠在上表面侧的电极层；以及

绝缘保持部件，由电气绝缘性材料形成，使所述贯通孔的内壁与馈电端子之间绝缘，并且保持所述馈电端子，

该制造方法，具有：

在贯通孔内隔着绝缘保持部件配设馈电端子，所述馈电端子的一部分向金属底板的上表面侧凸出，并且在金属底板的上表面侧喷镀陶瓷粉末而形成下部绝缘层的工序；

喷镀金属粉末，以埋没向金属底板的上表面侧凸出的馈电端子的馈电侧端部的前端的方式，或与馈电侧端部的前端成为同一平面的方式，形成电极层的工序；以及

喷镀陶瓷粉末，形成表面绝缘介电层的工序。

7.根据权利要求6所述的静电吸盘的馈电结构的制造方法，其特征在于，

绝缘保持部件至少在金属底板的上表面侧露出的部分由多孔质陶瓷构成，并以接触该多孔质陶瓷的方式形成下部绝缘层。

8.一种在金属底板的上表面侧以离金属底板从近到远的顺序具备下部绝缘层、电极层以及表面绝缘介电层的静电吸盘的馈电结构的再生方法，其特征在于，

所述静电吸盘具备：

贯通孔，贯通所述金属底板的上下表面间；

馈电端子，配设在该贯通孔内，将从金属底板的下表面侧供给的电压供给至层叠在上表面侧的电极层；以及

绝缘保持部件，由电气绝缘性材料形成，使所述贯通孔的内壁与馈电端子之间绝缘，并且保持所述馈电端子，

该再生方法，具有：

从使用完毕的静电吸盘的金属底板除去表面绝缘介电层、电极层以及下部绝缘层的工序；

在贯通孔内隔着绝缘保持部件配设馈电端子，所述馈电端子的一部分向金属底板的上表面侧凸出，并且在金属底板的上表面侧喷镀陶瓷粉末而形成下部绝缘层的工序；

喷镀金属粉末，以埋没向金属底板的上表面侧凸出的馈电端子的馈电侧端部的前端的方式，或与馈电侧端部的前端成为同一平面的方式，形成电极层的工序；以及

喷镀陶瓷粉末，形成表面绝缘介电层的工序。

9.根据权利要求8所述的静电吸盘的馈电结构的再生方法，其特征在于，包括：

在形成电极层的工序之前，将馈电端子的馈电侧端部加工为在前端具有预定面积的顶面、并且随着趋向前端直径逐渐缩小的凸起状的工序。