[发明专利]浆料处理体系和方法

说明书

背景技术

1.技术领域

本发明涉及一种降低废料流中一种或多种金属物质浓度的体系 和方法，更具体地讲，本发明涉及一种从化学机械平面化废浆料流中 除去一种或多种金属物质的体系和设备。

2.相关技术的讨论

可使用各种技术降低料流中的一种或多种目标物质的浓度。例如 Medford等在美国专利3,301,542中公开了一种用于处理酸性蚀刻溶液 的体系。Swanson等在美国专利3,428,449中公开了使用酚肟从酸性液 体中萃取铜。Spinney在美国专利3,440,036中公开了从含铜溶液中回 收铜。Stephens在美国专利3,912,801中公开了使用环状碳酸亚烷基酯 溶剂萃取金属。Koehler等在美国专利3,914,374中公开了从镍溶液中 除去残余的铜。Asano等在美国专利3,923,741中公开了丙烯酰胺水溶 液提炼方法。Asano等在美国专利3,941,837中还公开了一种处理丙烯 酰胺水溶液的方法。Leach等在美国专利4,010,099中公开了用于铜液 体萃取体系的沉降器。Etzel等在美国专利4,210,530中公开了使用未 膨胀的蛭石阳离子交换柱处理金属电镀废料。Dalton在美国专利 4,231,888中公开了一种用于从铜盐水溶液萃取铜的组合物。Merchant 等在美国专利4,239,210中公开了一种再生蚀刻剂和回收蚀出金属的 方法。Brown等在美国专利4,666,683中公开了一种从螯合剂和铜的 溶液中除去铜的方法。Gefvart在美国专利5,256,187中公开了通过离 子交换方法分离贵金属。Guess在美国专利5,298,168中公开了连二亚 硫酸亚铁法和用于从水中除去已溶解的重金属的组合物。Siefert等在 美国专利5,346,627中公开了一种从流体流中除去金属的方法。 Marquis等在美国专利5,348,712中公开了在金属离子萃取中使用碳酸 盐。Hayden在美国专利5,464,605中公开了一种分解和除去过氧化物 的方法。Abe等在美国专利5,476,883中公开了一种由经纯化的丙烯 腈制备丙烯酰胺的方法。Misra等在美国专利5,599,515中公开了一种 从溶液中除去汞的方法。Sassaman等在美国专利6,315,906中公开了 从废水中除去金属离子。Filson等在美国专利6,346,195中公开了从废 水中离子交换除去金属。Kemp等在美国专利6,818,129中类似地公开 了从废水中离子交换除去金属离子。但是，Kemp等在美国专利 6,818,129中指出，如果存在过氧化氢，由于其不相容性，不能与某些 树脂一起存在。Kemp等还指出离子交换可用于附着铜离子，但由于 抛光浆料流中存在一定量通常为二氧化硅、氧化铝浆料形式的固体， 不能用于抛光浆料流。

发明概述

根据一个或多个实施方案，本发明涉及一种处理浆料流的方法。 所述方法可包括提供包含浓度至少为约50mg/L的至少一种氧化剂和 至少一种金属的浆料流的步骤，将所述浆料流引入离子交换柱。

根据一个或多个实施方案，本发明涉及一种处理化学机械抛光浆 料流的方法。所述方法可包括将所述浆料流引入主要由至少一个离子 交换单元组成的处理体系的步骤，所述离子交换单元包含螯合离子交 换树脂。

根据其他实施方案，本发明涉及一种制造电子元件的方法。所述 方法可包括使用浆料化学机械抛光所述电子元件，将至少一部分所述 浆料引入主要由离子交换柱组成的处理体系，所述离子交换柱包含含 有亚氨基二乙酸根(iminodiacetate)官能团的离子交换材料。

根据一个或多个实施方案，本发明涉及一种用于处理浆料流的处 理体系，所述浆料流可包括至少一种选自铜、铅、镍、锌、钴、镉、 铁、锰和钨的金属和至少一种选自硝酸、过氧化氢、硝酸铁和过硫酸 铵的氧化剂，其存在的浓度至少为约50mg/L。所述处理体系可包括与 所述浆料流来源流体连通的入口和降低来自所述浆料流的所述至少 一种金属的浓度的装置。

根据一个或多个实施方案，本发明涉及一种帮助处理含有至少一 种金属物质的浆料流的方法。所述方法包括提供主要由其中装有离子 交换介质的离子交换柱组成的处理体系的步骤。所述离子交换介质包 含至少一种能与所述至少一种金属物质形成络合物的侧基官能团。

附图概述