[发明专利]硅锭切割用浆料及用该浆料的硅锭切割方法

权利要求书

1.硅锭切割用浆料，其含有磨粒、碱性物质及水，其特征在于，作为相对浆料中除磨粒之外的全部成分的质量比例，含有碱性物质2质量％～6质量％、甘油25质量％～55质量％。

2.硅锭切割用浆料，其含有磨粒、碱性物质及水，其特征在于，作为相对浆料中除磨粒之外的全部成分的质量比例，含有碱性物质2质量％～6质量％、甘油25质量％～55质量％、非离子高分子表面活性剂0.2质量％～0.9质量％。

3.如权利要求1或2所述的硅锭切割用浆料，其特征在于，作为磨粒，将碳化硅、氧化铈、金刚石、氮化硼、氧化铝、氧化锆、二氧化硅中任一种单独或将两种以上组合使用。

4.如权利要求1或2记载的硅锭切割用浆料，其特征在于，磨粒的平均粒径为5μm～20μm，磨粒的含量作为相对硅锭切削用浆料总质量的比例为40质量％～60质量％。

5.如权利要求1或2所述的硅锭切割用浆料，其特征在于，作为碱性物质，使用碱金属氢氧化物或碱土类金属氢氧化物。

6.切割硅锭的方法，其利用含有磨粒及碱性物质的浆料进行硅锭的切割，其特征在于，将作为相对上述浆料中除磨粒之外的全部成分的质量比例，含有碱性物质2质量％～6质量％、甘油25质量％～55质量％的液体作为浆料使用。

7.切割硅锭的方法，其利用含有磨粒及碱性物质的浆料进行硅锭的切割，其特征在于，将作为对上述浆料中除磨粒之外的全部成分的质量比例，含有碱性物质2质量％～6质量％、甘油25质量％～55质量％、非离子高分子表面活性剂0.2质量％～0.9质量％的液体作为浆料使用。

8.如权利要求6或7所述的切断硅锭的方法，其特征在于，使用多丝切割机作为切割装置来制造太阳电池用晶片。