[发明专利]板状体的研磨方法及其装置有效

专利信息
申请号: 200680051523.2 申请日: 2006-11-17
公开(公告)号: CN101360584A 公开(公告)日: 2009-02-04
发明(设计)人: 生田康成;铃木健雄 申请(专利权)人: 旭硝子株式会社
主分类号: B24B7/06 分类号: B24B7/06;B24B7/24
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 刘多益
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 板状体 研磨 方法 及其 装置
【权利要求书】:

1.板状体的研磨方法,它是使矩形的板状体向规定方向移动的同时利用 多台自转且公转的圆形研磨具对板状体进行连续研磨的板状体研磨方法,其特 征在于,

将直径小于所述板状体宽度的所述圆形研磨具以所述板状体的移动中心 线为基准左右两侧成对交错配置2列,其中所述移动中心线相当于所述板状体 的宽度方向的中心线,

且2列中一方的所述圆形研磨具的一部分越出与所述板状体的移动方向 正交的方向上所述板状体的一端和所述板状体的移动中心线、且不越出和所述 板状体的一端对向的所述板状体的另一端,对所述板状体进行研磨,

2列中另一方的所述圆形研磨具的一部分越出所述板状体的另一端和所 述板状体的移动中心线,且不越出所述板状体的一端,对所述板状体进行研磨。

2.如权利要求1所述的板状体的研磨方法,其特征在于,所述圆形研磨 具在研磨时从所述板状体的一端悬伸的量A设为20mm≤A≤250mm的条件下 对板状体进行研磨。

3.如权利要求1或2所述的板状体的研磨方法,其特征在于,所述圆形 研磨具在圆形研磨具的公转半径R设为50mm≤R≤100mm的条件下对板状体 进行研磨。

4.如权利要求1所述的板状体的研磨方法,其特征在于,在如下条件下 对板状体进行研磨,即以所述板状体的移动中心线为基准成对配置的一圆形研 磨具与另一圆形研磨具在研磨时的重复量为100mm以上,并且,当所述圆形 研磨具在研磨时从所述移动中心线越出的量的最小值为B,最大值为C时, 25mm≤B≤100mm,175mm≤C≤250mm。

5.如权利要求1所述的板状体的研磨方法,其特征在于,将所述圆形研 磨具的研磨压从所述圆形研磨具的中心向外周方向分区设定而对板状体进行 研磨。

6.板状体的研磨装置,它是使矩形的板状体向规定方向移动的同时利用 多台自转且公转的圆形研磨具对板状体进行连续研磨的板状体的研磨装置,其 特征在于,

所述圆形研磨具的直径小于所述板状体的宽度,且以所述板状体的移动中 心线为基准左右两侧成对交错配置2列,其中所述移动中心线相当于所述板状 体的宽度方向的中心线,

2列中一方的所述圆形研磨具的一部分越出与所述板状体的移动方向正 交的方向上所述板状体的一端和所述板状体的移动中心线、且不越出和所述板 状体的一端对向的所述板状体的另一端,对所述板状体进行研磨,

2列中另一方的所述圆形研磨具的一部分越出所述板状体的另一端和所 述板状体的移动中心线,且不越出所述板状体的一端,对所述板状体进行研磨。

7.如权利要求6所述的板状体的研磨装置,其特征在于,所述圆形研磨 具从所述板状体的一端悬伸的量A设为20mm≤A≤250mm。

8.如权利要求6或7所述的板状体的研磨装置,其特征在于,所述圆形 研磨具的公转半径R设为50mm≤R≤100mm。

9.如权利要求6所述的板状体的研磨装置,其特征在于,设定如下条件, 即以所述板状体的移动中心线为基准成对配置的一圆形研磨具与另一圆形研 磨具在研磨时的重复量为100mm以上,并且,当所述圆形研磨具在研磨时从 所述移动中心线越出的量的最小值为B,最大值为C时,25mm≤B≤100mm, 175mm≤C≤250mm。

10.如权利要求6所述的板状体的研磨装置,其特征在于,将所述圆形研 磨具的研磨压从所述圆形研磨具的中心向外周方向分区设定。

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