[发明专利]TCP处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及对作为IC器件的一种的TCP(Tape CarrierPackage)、COF(Chip On Film)(以下将TCP、COF、以及其他的通过TAB(Tape Automated Bonding)安装技术制造的器件统称为“TCP”)进行试验所使用的TCP处理装置。

背景技术

在IC器件等电子部件的制造过程中，需要一种对最终制造出的IC器件、其中间阶段的器件等的性能和功能进行试验的电子部件试验装置，在TCP的情况下，使用TCP用的试验装置。

TCP用的试验装置一般由测试主体、测试头、TCP处理装置(TCPhandler)(以下也有称为“TCP处理机”的情况)构成。该TCP处理机具有以下功能：在传送带(tape，也包含膜的概念。以下相同)上输送形成有多个TCP的载带(carrier tape)，将载带按压到与测试头电连接的探针板(probe card)的探针上，使TCP的外部端子与探针接触，顺序地使多个TCP进行试验。

在此，在载带上对每个TCP设置有1个或多个进行定位用的标记(对准标记)，将该对准标记作为基准而确定TCP的位置，进行TCP相对于探针板的定位。具体地说，通过照相机对试验对象的TCP相关的规定的对准标记进行图像识别，取得对准标记的位置信息，根据该对准标记的位置信息，确定TCP的位置偏离信息，根据该位置偏离信息，根据需要进行TCP相对于探针板的位置偏离修正。

但是，根据载带的种类、载带面的反射条件，或者由于载带的污垢等，有无法由照相机对对准标记进行图像识别的情况。

在这样无法由照相机对对准标记进行图像识别的情况下，操作者需要暂时停止试验装置，变更照射载带的光的亮度，或者改变照相机的设置，或者除去载带的污垢。由于这样的试验装置的暂时停止、以及操作者的作业，有试验的处理能力低下的问题。

发明内容

本发明就是鉴于这样的实际状况而提出的，其目的在于：提供一种减少试验装置的停止频度，提高试验的处理能力的TCP处理装置。

为了达到上述目的，第一，本发明提供一种TCP处理装置，输送形成了多个TCP的载带，将上述载带按压到与测试头电连接的接触部分上，使TCP的外部端子与上述接触部分的接触端子接触，由此能够顺序地使多个TCP进行试验，其特征在于包括：对上述载带上的具有规定的形状的特定图形进行图像识别，能够取得该特定图形的位置信息的摄像装置，其中，在每次确定试验对象的TCP的位置信息时，试着进行上述TCP的第一特定图形的图像识别，在无法进行上述第一特定图形的图像识别的情况下，试着进行上述TCP的其他特定图形的图形识别(发明1)。

另外，作为“具有规定的形状的特定图形”，例如可以列举对准标记以及其他的TCP的特定的外部端子(测试焊盘)、封装的角部等，但并不只限于此。在作为特定图形只采用对准标记的情况下，需要在载带上对每个规定的TCP(可以是每个，也可以是每多个)附加多个对准标记。

根据上述发明(发明1)，即使在无法进行第一特定图形的图像识别的情况下，也有能够进行其他特定图形的图像识别的情况，因此与只对一个特定图形进行图像识别的情况相比，能够减少试验装置的停止频度，提高试验的处理能力。

在上述发明(发明1)中，在无法进行上述第一特定图形的图像识别的情况下，也可以试着对上述TCP的多个特定图形顺序地进行图像识别，使得能够进行任意的特定图形的图像识别(发明2)。

在上述发明(发明1、2)中，理想的是通过上述特定图形的图像识别而取得该特定图形的位置信息，根据该取得的特定图形的位置信息，确定试验对象的TCP相对于上述接触部分的位置偏离信息，根据该确定的位置偏离信息，进行上述TCP相对于上述接触部分的位置偏离修正(发明3)。

在上述发明(发明3)中，理想的是上述TCP处理装置还具备：能够使按压在上述接触部分上的载带微小移动的带移动装置和/或能够使上述接触部分微小移动的接触部分移动装置，通过上述带移动装置和/或接触部分移动装置，进行上述TCP相对于上述接触部分的位置偏离修正(发明4)。