[发明专利]在多波束光扫描系统中测量前向多激光束的激光功率的方法无效
申请号: | 200680048362.1 | 申请日: | 2006-12-12 |
公开(公告)号: | CN101341382A | 公开(公告)日: | 2009-01-07 |
发明(设计)人: | F·M·H·克罗姆普沃茨;A·M·范德李 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;G02B26/12;G11B7/13;G11B7/125 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李静岚;刘红 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 波束 扫描 系统 测量 激光束 激光 功率 方法 | ||
1.一种用于测量由包括至少两个激光二极管的激光二极管阵列生成的前向多波束的激光功率的方法,该方法包括:
-生成步骤,包括生成前向多波束,
该方法的特征在于,
-分离步骤,包括把至少部分的前向多波束分离成个体波束,个体波束的数目等于在激光二极管阵列中的激光二极管的数目,该安排是使得每个个体波束包括源自于单个激光二极管的光;
-测量步骤,包括测量每个个体波束的激光功率。
2.按照权利要求1的方法,其特征在于,所述分离步骤包括在空间上分离个体波束。
3.按照权利要求2的方法,其特征在于还包括:
-在生成步骤之后的波束成形步骤,包括使前向多波束传送通过产生第一场阑的光学元件;
该测量步骤包括藉助于光检测器来测量每个个体波束的激光功率,所述光检测器被放置在第一场阑后的渐晕区域的前向多波束的边缘,这里所述个体波束不重叠,从而每个光检测器接收来自单个激光二极管的光。
4.按照权利要求3的方法,其特征在于还包括:
-在波束成形步骤之后的波束分割步骤,包括把前向多波束分割成主前向多波束和次前向多波束,
该测量步骤包括藉助于光检测器来测量每个个体波束的激光功率,所述光检测器被放置在波束分割器后的渐晕区域的次前向多波束的边缘,这里所述个体波束不重叠,从而每个光检测器接收来自单个激光二极管的光。
5.按照权利要求2的方法,其特征在于还包括:
-在生成步骤之后的准直步骤,包括使前向多波束传送通过准直器透镜,准直器透镜被放置成使得激光二极管阵列基本上处在准直器透镜的焦点;
-成像步骤,包括把成像透镜放置在准直器透镜和光检测器阵列之后的前向多波束中,以使得相应的光检测器被放置在来自激光二极管阵列的每个激光二极管的像点,
该测量步骤包括藉助于相应的光检测器来测量每个个体波束的激光功率。
6.按照权利要求5的方法,其特征在于还包括:
-跟随在准直步骤之后且在成像步骤之前的波束分割步骤,包括把前向多波束分割成主多前向波束和次多前向波束,
所述成像透镜被放置在次多前向波束的路径中。
7.按照权利要求1的方法,其特征在于,所述分离步骤包括在时间上分离个体的波束。
8.按照权利要求7的方法,其特征在于,测量步骤包括藉助于被放置在前向多波束的路径上的检测系统来测量个体波束的激光功率,所述检测系统包括:光检测器,用于测量激光功率;和开关装置,被安排成使得光检测器只在来自二极管激光器阵列的单个二极管激光器进行发射时的时间段内才测量。
9.按照权利要求7的方法,其特征还在于,在预定的时间段上对所测量的来自激光器阵列的激光二极管的激光功率求平均。
10.按照权利要求7的方法,其特征在于,测量步骤还包括:
-以预定的时间间隔采样平均的激光功率和关于来自激光二极管阵列的、发射光的激光二极管的信息;
-从采样的激光功率和采样的信息中提取由每个激光二极管生成的个体波束的平均激光功率。
11.按照权利要求7的方法,其特征在于,
-跟随在生成步骤之后的准直步骤,包括使前向多波束传送通过准直器透镜,该准直器透镜被放置成使得激光二极管阵列处在准直器透镜的焦点;
-跟随在准直步骤之后的波束分割步骤,包括把前向多波束分割成主多前向波束和次多前向波束,
所述检测系统被放置在次多前向波束的路径中。
12.一种用于由激光二极管阵列生成的前向多波束的激光功率的自动功率控制的方法,该激光二极管阵列包括至少两个激光二极管,该方法包括:
-为来自激光二极管阵列的预先选择的激光二极管设置想要的输出的激光功率;
-测量预先选择的激光二极管的激光功率;
-根据想要的输出的激光功率和所测量的个体的激光功率,藉助于反馈控制环来控制预先选择的激光二极管的个体的激光功率;
该方法的特征在于,根据按照前述权利要求的任一项的、用于测量激光功率的方法来测量个体的激光功率。
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