[发明专利]载置托盘以及薄板保持容器

说明书

技术领域

本发明涉及为了半导体晶片、磁存储介质盘、光存储介质盘、液晶用玻璃基板、柔性显示装置用薄膜基板等电子设备用薄板的搬运、保管、处理等，而保持所述薄板的载置托盘以及薄板保持容器。

背景技术

近年来，在半导体晶片等电子设备用薄板中，要求进一步的薄型化。因此，不论尺寸的大小，各薄板变得极薄，从而容易损坏。

另外，虽然板厚没有变化但由于外径的大型化，从板厚与外径的比的观点看来，相对薄板化不断进展。

作为用于收纳这样的极薄的薄板进行保管、搬运的容器，已知专利文献1所记载的多层式收纳盒。该多层式收纳盒不会在厚度为20～100μm的极薄晶片的外周面上产生碎屑，并且能够不失误地吸附到吸盘上而搬出。具体地说，如图20所示，是使多个收纳棚2经由支柱5等间隔地上下平行地层叠的多层式收纳盒6，所述收纳棚2使直径比极薄晶片w的直径稍大的半圆弧状引导件4从平板3上立起。使搬运机器人的吸盘移动到晶片w上表面，接下来使其下降而将晶片按压到平板上，由此使晶片的反弹力消失然后将晶片吸附固定在吸盘上。

专利文献1：特开2004-273867号公报

但是，在上述那样的多层式收纳盒6中，仅从下侧支撑极薄晶片w的周缘部，没有特别设置可靠地固定极薄晶片w的单元。因此，在使多层式收纳盒倾斜时，具有极薄晶片w容易错位而破损的危险，所以需要慎重地搬运。其结果，具有搬运时的操作性较差的问题。

另外，近年来伴随着液晶用玻璃基板等的大型化，以使其倾斜的状态进行检查的情况变多，但在上述多层式收纳盒中，不能使收纳在内部的极薄晶片w倾斜。因此，具有不能将上述多层式收纳盒使用在检查工序的问题。

此外，极薄晶片w有时不仅对其上表面、还对下表面实施加工，在这种情况下，需要将极薄晶片w一片一片取出并上下倒置的工序，具有操作性较差的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述的情况而完成的，是适于极薄的薄板的搬运、保管、处理等的薄板保持容器，为了能够安全且可靠地进行从小型到大型的薄板的搬运、保管、处理等而进行了改良。

本发明第一方面所涉及的载置托盘支撑至少一片薄板，所述载置托盘的特征在于包括：第1载置部，设置在一侧面上，载置至少一片薄板；第2载置部，设置在另一侧面上，与其他的载置托盘的所述第1载置部嵌合，形成与外部环境隔离的收纳空间，同时在所述收纳空间内夹持所述薄板，从而在上下倒置时载置所述薄板；结合部，设置在一侧面上，与其他的载置托盘相结合；以及被结合部，设置在另一侧面上，与其他的载置托盘的结合部相结合。其中，所述薄板收纳在一个或多个所述收纳空间内，并且所述载置托盘从上下任一方向都支撑所述薄板，其中一个或多个所述收纳空间能够以与收纳在所述收纳空间内的一个或多个所述薄板的数量相对应的数量重合。

通过该结构，薄板被载置在一个载置托盘的第1载置部上，在该状态下将其他的载置托盘重叠从而所述结合部与被结合部互相结合，由此上侧的载置托盘的第2载置部嵌合在下侧的载置托盘的所述第1载置部上而形成所述收纳空间。由此，在所述收纳空间内所述薄板被所述第1载置部和第2载置部夹持而支撑。载置托盘被重叠了与所述薄板的片数相对应的片数，形成了与所述薄板的片数相对应的数目的所述收纳空间，将所述薄板收纳在这些收纳空间内，从而所述载置托盘从上下任一方向都支撑所述薄板。

由于包括载置凸部，其被设置在所述第1载置部或第2载置部的一方或双方上，以按压被收纳在所述收纳空间内的所述薄板的方式支撑所述薄板，因此所述载置凸部与所述薄板的表面抵接按压，从而可靠地保持所述薄板。

由于为了以最小面积与所述薄板接触而在所述第1载置部或第2载置部的整个载置面上将所述载置凸部形成为网眼状，由此网眼状的载置凸部均匀地按压并支撑所述薄板。

由于包括吸气孔，其在所述载置凸部与所述薄板互相抵接时将由这些载置凸部和薄板分隔出的空间与外部环境连通，因此经由所述吸气孔从外部吸气，从而将所述薄板吸附固定在所述载置凸部上。