[发明专利]包括其中放置有反射镜的入口空腔的光学仪器

权利要求书

1.一种光学仪器，包括至少一个放置在空腔(2)中的被称为主反射镜(3)的反射镜，该主反射镜包括能够承受入射的辐射通量的瞬间变化的主动面，其特征在于，该空腔包含围绕反射镜形成为该空腔至少一部分的刚性内壳(20)，该壳由具有热惯性的材料组成，以抑制该入射的辐射通量的瞬间变化，从而限制该空腔的温度波动，并随后限制该反射镜的温度波动。

2.如权利要求1所述的光学仪器，其特征在于，该刚性内壳扩展在限定为接近于所述反射镜的所述空腔的第一部分(A)，所述第一部分(A)从该反射镜延伸的距离为d，该距离d小于该空腔的总长度l。

3.如权利要求1或2所述的光学仪器，其特征在于，所述刚性内壳(20)由铝或者任何其它的具有高热惯性的材料制成。

4.如权利要求3所述的光学仪器，其特征在于，所述具有高热惯性的材料包括铍。

5.如权利要求3所述的光学仪器，其特征在于，所述刚性内壳(20)具有大约1mm的厚度。

6.如权利要求2所述的光学仪器，其特征在于，该空腔还包含第二壳(21)，第二壳(21)由覆盖空腔的整个侧面和底部的热绝缘材料组成，空腔的所述底部在所述反射镜的后面。

7.如权利要求2或6所述的光学仪器，其特征在于，第二壳覆盖所述第一部分(A)并扩展空腔的第一部分(A)以形成与第一部分(A)相连的第二部分(B)。

8.如权利要求6所述的光学仪器，其特征在于，所述第二壳(21)由多层绝缘结构组成。

9.如权利要求1所述的光学仪器，其特征在于，还包含用于控制该反射镜的温度的第一主动装置(6)和用于控制该刚性壳的温度的第二主动装置(7)。