[发明专利]用于盘形的工件的输送装置

权利要求书

1.用于盘形的工件(2、3、4、5、7)的输送装置，具有受控制地水平运动的输送臂，在该输送臂的一个端部上布置了两个间隔开的、细长的、用于基本上水平接纳工件的支撑元件(26、27)，并且设置了卡式盒(20)，该卡式盒(20)在两个对置的侧面上具有用于基本上水平接纳多个工件(7)的梳形结构(18)，其中构造所述支撑元件(26、27)及所述梳形结构(18)，使得这些支撑元件(26、27)能够在不与可能放置在梳形结构(18)中的工件相接触的情况下插入到该梳形结构(18)的两个相邻的、间隔开的梳齿之间以用于借助于额外的、垂直的、相对于所述卡式盒(20)和输送臂的运动抬起或放下工件(7)，其特征在于，布置所述支撑元件(26、27)，使得这些支撑元件(26、27)在与卡式盒啮合时基本上分别相邻地平行于所述梳形结构(18)地沿梳齿定位，并且在沿着两个相邻的梳齿平面并且在其之间的区域中在所述卡式盒(20)的一侧设置了用于对工件(7)及其位置进行探测的扫描射线(35)，并且所述扫描射线(35)可相对于所述卡式盒(20)在高度上进行定位，其中按照相对于水平的工件平面倾斜一个0.5°到2.0°的角度(34)的方式来导引所述扫描射线(35)。

2.按权利要求1所述的输送装置，其特征在于，为所述具有输送臂和卡式盒(20)的输送装置定义了第一搬运区(12、13)，在所述第一搬运区(12、13)的内部所述支撑元件(26、27)与所述工件(7)的表面相互作用，其中关于所述工件作为两个间隔开地平行对置的条带形的表面确定所述第一搬运区(12、13)，所述条带形的表面在工件插入所述卡式盒(20)中时基本上平行于所述梳形结构(18)定向。

3.按权利要求2所述的输送装置，其特征在于，通过所述输送装置的垂直的系统公差(8)的总和结合最大的向上及向下弯曲度来确定所述第一搬运区(12、13)的宽度(11)，所述工件在平放在线状的支座(1)上时以其弯曲角(9、10)达到所述最大的向上及向下弯曲度，并且在该弯曲角时这些角度与最大的垂直的系统公差的水平的平面相交，在两个交点之间的距离即为所述第一搬运区(12、13)的宽度(11)。

4.按权利要求2或3所述的输送装置，其特征在于，所述工件(7)是半导体晶片并且所述第一搬运区的宽度为10到20毫米。

5.按权利要求1所述的输送装置，其特征在于，定义所述扫描射线(35)的倾斜角(34)，从而在沿着两个相邻的平行的梳齿(18)导引射线时不超过梳齿距(19)。

6.按权利要求1所述的输送装置，其特征在于，为了使工件(7)相对于所述卡式盒(20)进行定位，设置了用于使所述卡式盒(20)进行垂直运动的装置。

7.按权利要求1所述的输送装置，其特征在于，在所述水平布置的梳形结构(18)的一个端部上设置了至少一个止挡件(16、17)，用于限制工件在所述卡式盒(20)中的最终位置，其中所述止挡件布置在所述扫描射线(35)的光路之外。

8.按权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述支撑元件(26、27)是棒形的。

9.按权利要求3所述的输送装置，其特征在于，确定允许的第二搬运区宽度(24、25)，该第二搬运区宽度(24、25)小于第一搬运区(12、13)的宽度，并且处于这个通过所述系统公差确定的第一搬运区的内部，并且这个第二搬运区宽度(24、25)通过所述支撑元件(26、27)的横截面尺寸(21)以及在所述工件(7)产生最大可能的弯曲度时仍然空出的卡式盒缝隙宽度(23)来确定。

10.按权利要求1所述的输送装置，其特征在于，在所述扫描射线(35)的对置的一侧上，在所述卡式盒(20)的对置的另一个梳形结构(18)的区域中设置了另一个倾斜的扫描射线(35’)。

11.按权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置包括至少两个可围绕着轴线(66、67)旋转的、各具有输送臂(60、61)的输送机械手以及旋转装置(62)，所述旋转装置(62)在工件的移交位置没有处于将所述输送机械手的两根轴线(66、67)连接起来的直线上时使所述第一搬运区(12、13)关于所述输送臂(60、61)的输送方向定向(65)。