[发明专利]湿度传感器

权利要求书

1.一种湿度传感器，其包括：

第一和第二导电电极(40，42)，其中每个电极都具有至少一个组件(48)，所述第一和第二导电电极(40，42)的组件(48)彼此平行地延伸，总平行长度至少为0.3mm，并且所述组件间距不超过1μm；以及

多孔电介质(20)，其具有大于10％的孔隙度，所述多孔电介质用于将所述第一和第二电极(40，42)分开。

2.如权利要求1所述的湿度传感器，其中所述第一和第二导电电极是交叉指型梳状物，所述梳状物的齿(48)就是总平行长度延伸至少为0.3mm的组件，所述第一和第二导电电极的齿彼此间的间距不超过1μm。

3.如权利要求1或2所述的湿度传感器，其中所述第一和第二导电电极(40，42是具有介电常数小于3.0的低介电常数电介质(20)原硅酸盐玻璃。

4.如上述任一权利要求所述的湿度传感器，进一步包括围绕所述导电电极延伸的阻挡层(28，32)，用于保护导电电极不被腐蚀。

5.如权利要求4所述的湿度传感器，其中所述阻挡层(28，32)包括处于所述导电电极(40，42)侧部和底部的第一阻挡材料(28)，以及处于所述导电电极(40，42)顶部的第二阻挡材料(32)，并且所述第一阻挡材料和所述第二阻挡材料是不同的。

6.如权利要求5所述的湿度传感器，其中所述第二阻挡材料(32)是可以选择性地沉积在所述导电电极材料上的阻挡材料。

7.如权利要求5所述的湿度传感器，其中所述第二阻挡材料(32)是电介质阻挡物。

8.如权利要求5、6或7所述的湿度传感器，其中所述第一阻挡材料(28)是金属。

9.一种关于根据任意上述权利要求所述的湿度传感器的用法，所述用法包括：在所述第一和第二电极之间施加0.5至1MV/cm的电场，并且

测量通过所述第一和第二电极(40，42)之间的电流，并且将其作为含水量的测量结果。

10.一种制造湿度传感器的方法，所述方法包括：

沉积具有至少10％孔隙度的多孔电介质(20)；

刻蚀透所述多孔电介质，从而形成第一和第二沟槽(26)，其中每个沟槽都具有至少一个组件，所述第一和第二沟槽(26)的所述组件彼此平行地延伸，总平行长度至少为0.3mm，并且所述组件间距不超过1μm；以及

利用导体填充所述沟槽(26)，以便形成第一和第二导电电极(40，42)，所述电极具有总平行长度延伸至少为0.3mm并且间距小于1μm的组件。

11.如权利要求1所述的方法，其中所述第一和第二沟槽(26)以及所述第一和第二导电电极(40，42)是交叉指型梳状物，所述梳状物的齿的总平行长度延伸至少为0.3mm，并且所述梳状物的齿处于所述另一梳状物的齿之间，齿的间距小于1μm。

12.如权利要求10或11所述的方法，其中所述多孔电介质(20)是介电常数小于3.0的低介电常数电介质(20)。

13.如权利要求10至12中任一所述的方法，其中填充所述沟槽的步骤包括：

在所述沟槽(26)的侧部和底部上沉积第一阻挡材料的阻挡层(28)；以及

利用导电填充材料(30)填充所述沟槽(26)。

14.如权利要求13所述的方法，进一步包括：在利用所述导电填充材料(30)填充所述沟槽(26)之后，通过选择性沉积在所述导电填充材料上沉积第二阻挡材料(32)，从而形成围绕所述导电填充材料(30)的顶部、侧部和底部延伸的阻挡层(28，32)。