[发明专利]观察设备

权利要求书

1.一种用于以光源照射样本并观察所述样本的观察设备，包括：

照明单元，其以面光源照亮样本，在所述面光源中交替设置亮区和暗区；

成像光学系统，其构成穿过所述照明单元所照亮的所述样本的光的图像；以及

成像单元，其拍摄由所述成像光学系统所形成的所述图像，

其中，在所述面光源与所述样本之间的距离d及所述面光源的亮暗间距P满足不等式：

Pd≤2(1-0.02/NA2)]]>

在此，NA是所述成像光学系统的物体侧的数值孔径。

2.根据权利要求1的观察设备，其中，在所述面光源与所述样本之间的距离d及所述面光源的亮暗间距P满足不等式：

Pd≤2·NA′]]>

在此，NA’是所述成像光学系统的图像侧的数值孔径。

3.根据权利要求1的观察设备，其中，在所述面光源与所述样本之间的距离d及所述面光源的亮暗间距P满足不等式：

λ2·a·NA≤Pd]]>

在此，NA是所述成像光学系统的物体侧的数值孔径，λ是所述面光源的波长，a是在所述成像光学系统图像侧主平面与所述成像单元之间的距离。

4.根据权利要求1的观察设备，其中，所述照明单元包括：

面光源，其以近似均匀的亮度分布发光；以及

遮挡，布置在所述面光源上，其中，孔径区域与遮挡区域交替设置。

5.根据权利要求1的观察设备，其中，所述照明单元包括液晶空间光调制器。

6.根据权利要求1的观察设备，还包括图像处理单元，其从所述成像单元所获取的所述样本的所述图像中移走所述面光源图像的成分。

7.根据权利要求1的观察设备，还包括用于改变所述面光源的亮暗相位的单元。

8.根据权利要求1的观察设备，还包括用于改变所述面光源的亮暗间距的单元。

9.根据权利要求1的观察设备，还包括用于改变所述面光源的亮暗占空比的单元。