[发明专利]用于光学元件的带有包括倾斜台的可移除的密封模块的壳体

权利要求书

1.一种用于包括设备框架的精密设备的光学组件，光学组件包括：

光学元件；和

壳体，壳体包括固定到设备框架的主体部分，将光学元件联接到主 体部分使光学元件定位在壳体内的可移除部分，和选择地将可移除部分 固定到主体部分的紧固件组件。

2.根据权利要求1所述的光学组件，其中壳体包括将可移除部分密 封到主体部分的壳体密封组件。

3.根据权利要求1所述的光学组件，其中光学元件以运动学方式联 接到可移除部分。

4.根据权利要求1所述的光学组件，进一步包括保持了光学元件的 元件板，元件板包括联接到可移除部分的后侧。

5.根据权利要求1所述的光学组件，进一步包括调节了光学元件相 对于可移除部分的位置的元件调节器。

6.根据权利要求5所述的光学组件，其中元件调节器包括至少一个 电子移动件。

7.根据权利要求5所述的光学组件，其中元件调节器以至少两个自 由度移动了光学元件。

8.根据权利要求5所述的光学组件，进一步包括保持了光学元件的 元件板，且其中元件调节器以运动学方式接合元件板。

9.根据权利要求1所述的光学组件，其中光学元件是反射元件。

10.一种精密设备，包括生成光束的光束源、物镜和根据权利要求1 所述的将光束引导向物镜的光学组件。

11.根据权利要求10所述的精密设备，进一步包括在壳体室内提供 了受控环境的环境控制器。

12.一种用于包括设备框架的精密设备的光学组件，光学组件包括：

壳体，壳体包括固定到设备框架的主体部分，可移除部分，和选择 地将可移除部分固定到主体部分的紧固件组件；和

定位在壳体内的光学元件，光学元件以运动学方式联接到壳体。

13.根据权利要求12所述的光学组件，其中壳体包括将可移除部分 密封到主体部分的壳体密封组件。

14.根据权利要求12所述的光学组件，进一步包括保持了光学元件 的元件板，元件板包括联接到可移除部分的后侧。

15.根据权利要求12所述的光学组件，进一步包括调节了光学元件 相对于可移除部分的位置的元件调节器。

16.根据权利要求15所述的光学组件，其中元件调节器包括至少一 个电子移动件。

17.根据权利要求15所述的光学组件，进一步包括保持了光学元件 的元件板，且其中元件调节器以运动学方式接合元件板。

18.根据权利要求12所述的光学组件，其中光学元件是反射元件。

19.一种精密设备，包括生成光束的光束源、物镜和根据权利要求 12所述的将光束引导向物镜的光学组件。

20.根据权利要求19所述的精密设备，进一步包括在壳体内提供了 受控环境的环境控制器。

21.一种用于使精密设备内的光束路径上的光束改向的方法，方法 包括如下步骤：

将壳体的主体部分固定到设备框架；

选择地将壳体的可移除部分固定到壳体的主体部分；和

将反射元件联接到壳体的可移除部分，使得当可移除部分固定到主 体部分时，反射元件定位在光束路径内。

22.根据权利要求21所述的方法，进一步包括将可移除部分密封到 主体部分的步骤。

23.根据权利要求21所述的方法，进一步包括提供保持了光学元件 的元件板的步骤，且联接的步骤包括将元件板的后侧联接到可移除部分 的步骤。

24.根据权利要求21所述的方法，进一步包括使用元件调节器调节 光学元件相对于可移除部分的位置的步骤。