[发明专利]引导台装置

说明书

技术领域

本发明涉及引导台装置，特别是涉及在维持高的刚性与引导精度的同时能够实现小型化轻量化的引导台装置的改进。

背景技术

过去，作为使工作机械的工作台等在相互垂直的X方向和Y方向上自由移动的装置，利用直线引导装置的所谓组合型引导台装置已经公知。该引导台装置，是在底座或立柱等基座上沿X方向设置导轨、并设置沿着该导轨移动的下侧台，再在该下侧台上沿Y方向设置导轨、并设置可沿着该导轨移动的上侧台而构成。因此，在这种引导台装置中，上侧台能够相对于基座在X方向和Y方向上自由移动(例如可参照下述专利文献1)。

此外，作为另一种引导台装置，下述专利文献2公开了对薄钢板进行压力加工以谋求小型化轻量化的引导台装置。这种引导台装置这样构成，即，通过压力加工将钢板的两端部折起从而形成槽状的下侧板和上侧板，另一方面，形成将周围4个边之中的相向的两个边向下折起、将其余两个边向上折起而形成的中间部件，再将上侧板、中间部件以及下侧板组合起来使得折起的侧壁部彼此相向。此外，在彼此相向的侧壁部之间放置多个滚珠，随着这些滚珠在侧壁部上滚动，中间部件可相对于下侧板在X方向上移动，上侧板可相对于中间部件在Y方向上移动。

再有，下述专利文献3公开了一种除了水平(XY)方向之外还能够进行旋转(θ)方向的移动的引导台装置。下述专利文献3所记载的引导台装置，是通过十字正交引导件和轴承的组合来实现XYθ方向的引导的。

专利文献1：特开平11-280761号公报

专利文献2：特开平5-18415号公报

专利文献3：特开平9-243766号公报

但是，以上述专利文献1为代表的现有的引导台装置，是在沿X方向移动的下侧台上设置Y方向的导轨，因此，下侧台本身必须具有很高的刚性，而且从固定部至上侧台的高度也不得不变高。因此，存在着装置大型化重型化的问题。

而上述专利文献2所记载的引导台装置，虽然实现了小型化轻量化，但下侧板、中间部件以及上侧板是对薄钢板进行压力加工而制成，滚珠滚动槽在钢板折起而成的侧壁部上形成。因此，若压力加工精度差，则会在滚珠与滚珠滚动槽之间产生间隙，出现中间部件相对于下侧板以及上侧板相对于中间部件发生晃动，无法使上侧板相对于下侧板高精度运动的不良现象。

对于上述专利文献2所记载的引导台装置，如果选用直径稍大的滚珠，对在滚珠滚动槽中滚动的滚珠施加预压力，则能够消除滚珠与滚珠滚动槽之间的间隙，防止前述那样的上侧板相对于下侧板发生晃动的情况。但是，这种装置的滚珠滚动槽是在通过压力加工折起而成的侧壁部上形成，因此，若选用大直径的滚珠，则在滚珠与滚珠滚动槽接触而被压缩之前，各板的侧壁部会发生变形，存在着无法对滚珠施加足够预压力的缺点。

因此，对于上述专利文献2所记载的引导台装置，需要提高压力加工的加工精度，并且提高形成各板的钢板的刚性。但是，这些要求将使压力加工的优点即良好的生产率、低成本等优点丧失，导致引导台装置的制造成本上升。

即便是只进行XY方向的引导的引导台装置也存在着上述缺点，若再增加θ方向的引导，将更无法避免装置大型化、重型化。例如，在上述专利文献3所记载的引导台装置中，是在3个十字正交引导件的上侧设置轴体，再通过设置在该轴体上的轴承安装台。因此，对于上述专利文献3所记载的引导台装置来说，为了容纳构成部件而不得不向纵横两个方向扩大，由于具有这种结构而不得不提高制造成本。

发明内容

本发明是针对上述存在的问题而创造出来的，其目的是，提供一种维持高的刚性和引导精度的同时能够实现小型化轻量化的新型的引导台装置。

本发明所涉及的一种引导台装置，具备：下侧板，具有在第一方向上形成的一对滚动体滚动槽；上侧板，具有在第二方向上形成的一对滚动体滚动槽；中间部件，在4个边上具有与所述下侧板所具有的一对滚动体滚动槽和所述上侧板所具有的一对滚动体滚动槽分别相向设置的4个滚动体滚动槽，且具有呈矩形形状的外轮廓；以及，多个滚动体，以能自由滚动的方式设置在由所述下侧板和所述上侧板同所述中间部件形成的4个滚动体滚动路径中；其特征在于，所述中间部件的4个边上所具有的4个滚动体滚动槽在同一平面上形成。