[发明专利]MEMS可调器件

权利要求书

1.一种微机电器件，该微机电器件具有基板(60)、可移动元件(15)、电极对(40)和控制器(50)，所述电极对被布置在所述基板和所述可移动元件上，所述电极对相互协作使所述可移动元件相对于所述基板移动，所述控制器对所述电极供电，以将所述可移动元件移动到最大位置和最小位置之间的中间位置，所述控制器提供一个或多个具有比将所述电极保持在中间位置的第二电平高的第一电平的脉冲，然后将脉冲降低到第二电平以将所述可移动部分稳定在所述中间位置。

2.根据权利要求1所述的器件，所述一个或多个脉冲取决于所述移动是减小还是增大所述电极之间的间隙(d1)。

3.根据权利要求1或2所述的器件，所述控制器布置来控制所述电极之间的电压差，从而改变静电力。

4.根据前面权利要求中的任何一项所述的器件，其中为了控制所述电极之间间隙的增大，所述控制器布置来提供最大供电电平的单个脉冲。

5.根据权利要求4所述的器件，所述单个脉冲的持续时间取决于移动之前和之后的供电电平。

6.根据前面权利要求中的任何一项所述的器件，其中为了控制所述电极之间间隙的减小，所述控制器布置来提供一个被定时来抑制所述可移动元件的振荡的脉冲序列。

7.根据权利要求6所述的器件，所述序列取决于移动之前和之后的供电电平。

8.根据权利要求6或7所述的器件，所述序列具有与振荡频率对应的周期，并且包括许多高于或低于给定电源电平的峰和谷，相继的所述峰和谷更接近给定供电电平。

9.根据前面权利要求的任何一项所述的器件，其具有在所述基板上和在所述可移动元件上的电容器电极(30)，从而形成可调电容器。

10.根据前面权利要求的任何一项所述的器件，所述器件具有对所述可移动元件进行偏置的弹性联轴器(10)。

11.根据权利要求10所述的器件，所述弹性联轴器至少被布置在所述可移动元件的两侧上。

12.一种控制微机电器件的可移动元件的方法，该微机电器件具有基板(60)、可移动元件(15)、被布置在所述基板和所述可移动元件上的电极对(40)，所述电极对相互协作以使所述可移动元件相对于所述基板移动，所述方法具有以下步骤：在移动过程中，通过把一个或多个具有比将所述移动元件保持在中间位置所需的第二电平高的电平的脉冲施加给所述电极，将所述可移动元件移动至中间位置，随后施加所述第二电平以将所述可移动元件稳定在所述中间位置。