[发明专利]X射线管以及非破坏检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及从X射线出射窗取出X射线的X射线管以及非破坏检查装置。

背景技术

X射线是对物体具有良好的透过性的电磁波，大多用于物体的内部构造的非破坏/非接触观察。X射线管通常使从电子枪出射的电子入射到标靶，产生X射线。如专利文献1所记述，X射线管的电子枪安装在收容作为阳极的标靶的管状构件。从电子枪出射的电子入射到标靶，从标靶产生X射线。X射线透过设在收容标靶的管状构件的管轴线上的X射线出射窗，照射到外部的样品。透过样品的X射线，作为放大透视图像，被各种X射线图像拍摄装置拍摄。

专利文献1：美国专利第5,077,771号说明书

发明内容

使用X射线的放大透视图像的非破坏检查，作为确认安装在各种电子电路基板的零件的接合状态的方法是有效的。而且，随着电路基板的小型化，所安装的零件高密度化，因而期望进行放大率更高的放大透视图像的拍摄。并且，为了确认安装在这种电路基板的焊料球的接合状态，从倾斜规定角度的位置对焊料球进行拍摄的放大透视图像，能够立体地观看焊料球，因而较合适。从这种倾斜的位置进行拍摄的放大透视图像，能够通过相对于X射线管相对地倾斜电路基板，进行拍摄，或者将X射线图像拍摄装置从X射线管的正上方偏移，进行拍摄而获得，但在，为了提高放大透视图像的放大率，后者较合适。

然而，为了将X射线图像拍摄装置从X射线管的正上方偏移，进行拍摄，必须增大从X射线管照射的X射线的照射角度，在以往的X射线管中，为了增大X射线的照射角度，必须增大X射线出射窗的直径，当X射线出射窗的直径变大时，将有多余的X射线从X射线管照射。于是，防止不必要的X射线的泄漏的设备变得必要，容易引起成本的上升。

本发明的目的在于，提供一种在提高从斜向对样品照射X射线而获得的放大透视图像的放大率的同时，能够防止不必要的X射线的泄漏的X射线管以及非破坏检查装置。

为了解决以上的问题，本发明的X射线管，包括：管状的阳极收容部；配置在阳极收容部内的阳极；以及X射线出射窗，用于使从电子枪出射的电子入射到阳极的标靶，产生X射线，并将该X射线取出。阳极沿着阳极收容部的管轴线配置，X射线出射窗相对于阳极收容部的管轴线偏心地设置在被设置于阳极收容部的端部的封塞部。

该X射线管中，从相对于阳极收容部的管轴线偏心地设置的X射线出射窗取出X射线。因此，即使不倾斜作为样品的电路基板等，也能够从斜向对样品照射X射线，并能够提高从倾斜对样品拍摄的放大透视图像的放大率。另外，该X射线管中，通过使X射线出射窗相对于阳极收容部的管轴线偏心，从而使利用X射线摄像机等的X射线图像拍摄装置的斜向观察最佳化，由于只要X射线出射窗达到斜向观察必须的足够的大小即可，因而即使X射线出射窗小，也能够防止多余的X射线的泄漏。而且，由于当X射线出射窗变小时，提高X射线出射窗的强度的必要性降低，能够减薄X射线出射窗，并能够提高X射线的透过率，因而可以进行鲜明的放大透视图像的拍摄。而且，当X射线出射窗变小变薄时，异物混入至X射线出射窗的窗材的比率降低，成品率提升，能够降低制造成本。

另外，优选电子枪被安装于设在阳极收容部的管轴线的周围的周壁，X射线出射窗相对于管轴线向电子枪侧偏心。如此，当使X射线出射窗向电子枪侧偏心时，能够从X射线出射窗取出照射线量大的X射线，容易进行鲜明的放大透视图像的拍摄。

另外，优选在封塞部设有多个X射线出射窗。通过设置多个X射线出射窗，可以从多个不同的斜向对样品拍摄放大透视图像，在进行样品的检查时，可以从更优选的方向拍摄放大透视图像。

另外，优选电子枪被收纳于固定在阳极收容部上的管状的电子枪收容部，电子枪收容部的管轴线与阳极收容部的管轴线正交，X射线出射窗在从包含阳极收容部的管轴线和电子枪收容部的管轴线的面偏移的位置具有中心。如此，当X射线出射窗的中心位于从包含阳极收容部的管轴线和电子枪收容部的管轴线的面偏移的位置时，例如，即使作为样品的电路基板倾斜以接近X射线出射窗，电子枪收容部也难以成为妨碍。因此，作为样品的电路基板容易接近X射线出射窗，提高放大透视图像的放大率变得容易。