[发明专利]用于减小的滞后和蠕变的声波传感器封装

权利要求书

1.一种声波感测仪器，包括：

衬底，具有由压电材料形成的表面；以及

从所述衬底配置的声波感测设备，其中包括所述压电材料表面的所述表面可以使用粘合剂附接到金属轴，该粘合剂减小滞后和蠕变并且改进所述声波感测设备的性能。

2.权利要求1的仪器，还包括指示所述金属轴和所述表面的表面粗糙度的预载，其中利用所述预载获得其希望的滞后值和希望的蠕变值。

3.权利要求1的仪器，其中所述表面被抛光，从而包括经过抛光的压电表面。

4.权利要求1的仪器，其中所述金属轴被抛光，从而减小了与所述声波感测设备的所述表面和所述金属轴相关的接触面积。

5.权利要求4的仪器，其中所述金属轴被抛光，从而减小了与所述声波感测设备的所述表面的所述接触面积相关的局部应力。

6.权利要求4的仪器，其中所述粘合剂包括环氧粘合剂，环氧粘合剂避免了与所述接触面积相关的直接接触引起的频率不稳定性。

7.一种声波感测系统，包括：

衬底，具有由压电材料形成的表面，其中所述表面被抛光，从而包括经过抛光的压电表面；

金属轴；以及

从所述衬底配置的声波感测设备，其中所述表面可以使用粘合剂附接到所述金属轴，该粘合剂减小滞后和蠕变并且改进所述声波感测设备的性能，其中所述金属轴被抛光，从而减小了与所述声波感测设备的所述表面和所述金属轴相关的接触面积，同时还减小了与所述声波感测设备的所述表面的所述接触面积相关的局部应力。

8.权利要求7的系统，其中所述压电材料选自包括以下材料的至少其中之一的材料组：α-石英、铌酸锂(LiNbO3)，和钽酸锂(LiTaO3)以及Li2B4O7、AlPO4、GaPO4、硅酸镓镧(La3Ga5SiO14)、ZnO、和外延生长的(Al、Ga、In)氮化物。

9.一种声波传感器系统，包括：

衬底，具有由压电材料形成的表面，其中所述表面被抛光，从而包括经过抛光的压电表面，其中所述压电材料选自包括以下材料的至少其中之一的材料组：α-石英、铌酸锂(LiNbO3)，和钽酸锂(LiTaO3)以及Li2B4O7、AlPO4、GaPO4、硅酸镓镧(La3Ga5SiO14)、ZnO、和外延生长的(Al、Ga、In)氮化物；以及

从所述衬底配置的声波感测设备，其中所述表面可以使用粘合剂附接到所述金属轴，该粘合剂减小滞后和蠕变并且改进所述声波感测设备的性能，其中所述金属轴被抛光，从而减小了与所述声波感测设备的所述表面和所述金属轴相关的接触面积，同时还减小了与所述声波感测设备的所述表面的所述接触面积相关的局部应力。

10.权利要求9的系统，其中所述声波感测设备包括谐振器。