[发明专利]晶体管元件,显示装置和它们的制造方法有效
申请号: | 200680036822.9 | 申请日: | 2006-09-28 |
公开(公告)号: | CN101278404A | 公开(公告)日: | 2008-10-01 |
发明(设计)人: | 荒海麻由佳;川岛伊久卫;村上明繁;山贺匠 | 申请(专利权)人: | 株式会社理光 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L51/05;H01L51/30 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 宋莉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体管 元件 显示装置 它们 制造 方法 | ||
1.一种晶体管元件,其层叠有:在基板上使用有机半导体层的晶体管、接触该有机半导体层的层间绝缘膜和经由层间绝缘膜中设置的通孔与所述晶体管电接触的上部电极,
其中所述层间绝缘膜包括有机材料和颗粒的混合物。
2.权利要求1的晶体管元件,其中构成所述层间绝缘膜的颗粒的粒径不大于所述层间绝缘膜厚度的1/2。
3.权利要求1的晶体管元件,其中所述有机材料与所述层间绝缘膜的体积比为30%或更多。
4.权利要求1的晶体管元件,其中所述层间绝缘膜的厚度为2μm或更大且不大于40μm。
5.权利要求1的晶体管元件,其中栅极绝缘膜与所述层间绝缘膜的每单位面积电容比为3或更大。
6.权利要求1的晶体管元件,其中将所述上部电极放置在从平面图中看不覆盖所述有机半导体层的通道形成部分的位置。
7.权利要求1的晶体管元件,其中构成所述层间绝缘膜的有机材料和颗粒的混合物包括光吸收性颜料成分。
8.一种显示装置,其中使用权利要求1的晶体管元件作为与图像显示元件对应的开关元件。
9.一种显示装置,其中图像显示元件与有源矩阵上的各晶体管元件中的一个对应层叠,该有源矩阵以格子状设置多个权利要求1的晶体管元件。
10.权利要求9的显示装置,其中所述图像显示元件选自液晶元件、电泳显示元件和有机电致发光元件。
11.一种晶体管元件的制造方法,该晶体管元件层叠有:在基板上使用有机半导体层的晶体管、接触该有机半导体层的层间绝缘膜和经由层间绝缘膜中设置的通孔与所述晶体管电接触的上部电极,
其中通过丝网印刷法形成包括有机材料和颗粒的混合物的层间绝缘膜。
12.权利要求11的晶体管元件的制造方法,其中构成所述层间绝缘膜的颗粒的粒径不大于所述层间绝缘膜厚度的1/2。
13.权利要求11的晶体管元件的制造方法,其中所述有机材料与所述层间绝缘膜的体积比为30%或更大。
14.权利要求11的晶体管元件的制造方法,其中所述层间绝缘膜的厚度为2μm或更大且不大于40μm。
15.权利要求11的晶体管元件的制造方法,其中栅极绝缘膜与所述层间绝缘膜的每单位面积电容比为3或更大。
16.权利要求11的晶体管元件的制造方法,其中将所述上部电极放置在从平面图中看不覆盖所述有机半导体层的通道形成部分的位置。
17.权利要求11的晶体管元件的制造方法,其中包括在所述层间绝缘膜中的有机材料和颗粒的混合物包括光吸收性颜料成分。
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