[发明专利]基于硅、碳、氢和氮的耐腐蚀涂层

权利要求书

1.用于可腐蚀金属材料部件的防腐蚀的薄层涂层，所述涂层基本上由硅、碳、氢和氮组成，所具有的组成是：

-通过ERDA技术测定的氢的原子含量是20±5原子％，

-通过卢瑟福背散射(RBS)技术测定的硅的原子含量是15-28原子％，

-氮和碳的原子浓度的比率(N/C)大于0.9，

-材料的硬度小于或等于2100daN/mm²。

2.权利要求1的薄层涂层，其特征在于氮和碳的原子浓度的比率(N/C)大于1。

3.权利要求2的薄层涂层，其特征在于氮和碳的原子浓度的比率(N/C)至少等于1.2。

4.权利要求1-3中任一项的薄层涂层，其特征在于它包含最大5原子％的可能的杂质。

5.权利要求1-4中任一项的薄层涂层，其特征在于其厚度大于0.1μm但小于5微米。

6.权利要求5的薄层涂层，其特征在于其厚度为0.5-2.5微米。

7.权利要求1-6中任一项的薄层涂层，其特征在于氮的原子含量大于硅、碳和氢的原子含量中的每一种原子含量。

8.权利要求7的薄层涂层，其特征在于氮的原子含量至少等于29原子％。

9.权利要求8的薄层涂层，其特征在于氮的原子含量至多等于40原子％。

10.权利要求9的薄层涂层，其特征在于氮的原子含量至多等于33原子％。

11.权利要求1-10中任一项的薄层涂层，其特征在于硅和碳的原子含量是15原子％-26原子％。

12.权利要求1-11中任一项的薄层涂层，其特征在于硬度至少等于800daN/mm²。

13.权利要求1-12中任一项的薄层涂层，其特征在于其涂覆有掺杂或未掺杂的无定形碳的层。

14.机械部件，其至少一个表面层由可腐蚀金属材料制成并且其涂覆有权利要求1-13中任一项的薄层。

15.权利要求14的部件，其特征在于该薄层涂覆有掺杂或未掺杂的无定形碳的层。