[发明专利]光电子半导体芯片及其制造方法有效
申请号: | 200680035818.0 | 申请日: | 2006-09-04 |
公开(公告)号: | CN101273470A | 公开(公告)日: | 2008-09-24 |
发明(设计)人: | 克劳斯·施特罗伊贝尔 | 申请(专利权)人: | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李春晖;李德山 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 光电子 半导体 芯片 及其 制造 方法 | ||
1.一种光电子半导体芯片(12),具有:
薄膜半导体本体(8),其包括具有适于产生辐射的有源区(3)的半导体层序列(2,20);以及
构建在半导体层序列上的、使薄膜半导体本体机械稳定的支承层(7)。
2.根据权利要求1所述的半导体芯片,其特征在于,支承层(7)自支承地构建。
3.根据权利要求1或者2所述的半导体芯片,其特征在于,支承层(7)具有的厚度在10μm到500μm之间,包括端点;优选在50μm到200μm之间,包括端点。
4.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,支承层(7)不同于如下的生长衬底(1):在该生长衬底上外延地生长用于薄膜半导体本体(8)的半导体层序列(2,20)。
5.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,支承层(7)是绝缘的。
6.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,支承层(7)对有源区(3)中产生的辐射起吸收作用。
7.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,支承层(7)沉积在用于薄膜半导体本体(8)的半导体层序列(2,20)上。
8.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,支承层(7)实施为陶瓷层、多晶层或者不定形层。
9.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,支承层(7)含有氮化铝或者氧化铝。
10.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,支承层(7)具有多层结构。
11.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,在支承层(7)与薄膜半导体本体(8)之间设置含有金属的层(6),尤其是基于金属或者基于合金的层。
12.根据权利要求11所述的半导体芯片,其特征在于,含有金属的层(6)构建为对有源区(3)中产生的辐射的反射层。
13.根据权利要求11或者12所述的半导体芯片,其特征在于,含有金属的层(6)实施为用于电接触半导体芯片(12)的接触层。
14.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,半导体芯片(10)、尤其是半导体层序列(2,20)和/或有源区(3)含有至少一种III-V-化合物半导体材料,或者基于III-V-化合物半导体材料。
15.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,半导体芯片(12)实施为不带有谐振器的、用于产生非相干辐射的芯片。
16.根据上述权利要求中至少一项所述的半导体芯片,其特征在于,半导体芯片(12)实施为LED芯片。
17.一种用于制造光电子半导体芯片(12)的方法,具有以下步骤:
-提供用于半导体芯片的半导体本体(8)的、设置在衬底(1)上的半导体层序列(2,20),其中半导体层序列具有适于产生辐射的有源区(3),
-在半导体层序列上构建支承层(7),以及
-去除衬底。
18.根据权利要求17所述的方法,其特征在于,支承层(7)构建在半导体层序列(2,20)的与衬底(1)背离的侧上。
19.根据权利要求17或者18所述的方法,其特征在于,支承层(7)借助薄层方法构建在半导体层序列(2,20)上。
20.根据权利要求17至19中至少一项所述的方法,其特征在于,支承层(7)借助沉积方法沉积在半导体层序列(2,20)上。
21.根据权利要求17至20中至少一项所述的方法,其特征在于,支承层(7)借助PVD方法或者CVD方法沉积在半导体层序列(2,20)上。
22.根据权利要求17至21中至少一项所述的方法,其特征在于,借助溅射、尤其是反应溅射,或者借助激光支持的方法、如使用脉冲激光情况下的沉积方法,或者借助蒸发,将支承层(7)沉积在半导体层序列(2,20)上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司,未经奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200680035818.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种碟车
- 下一篇:导流型机械储能式垂直轴风动力机