[发明专利]显示面板用的基板和具有该基板的显示面板无效
申请号: | 200680034835.2 | 申请日: | 2006-09-15 |
公开(公告)号: | CN101268415A | 公开(公告)日: | 2008-09-17 |
发明(设计)人: | 野田知希;武内正典;缘田宪史 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | G02F1/1343 | 分类号: | G02F1/1343;G02F1/13 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘春成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 具有 | ||
技术领域
本发明涉及显示面板用的基板和具有该基板的显示面板,特别涉及由导电性的膜、绝缘性的膜等构成的图案被形成为叠层状的液晶显示面板用的基板和具有该基板的液晶显示面板。
背景技术
一般的液晶显示面板包括阵列基板和彩色滤光片(color filter)基板,在它们之间填充有液晶。在这些阵列基板和彩色滤光片基板的表面上,导电性的膜、绝缘性的膜等的图案被形成为叠层状。
图3是示意性地表示在以往的液晶显示面板9上形成的配线等的图案的一个例子的平面图。该图3抽出一个像素进行表示。在阵列基板上具有形成有栅极信号线912和辅助电容线915的图案的层、和形成有源极信号线913和漏极线914的图案的层,这些层夹着绝缘膜(未图示)而叠层。通过这些图案,构成薄膜晶体管和其它规定的配线等。
为了使得薄膜晶体管等具有与设计同样的特性,需要将栅极信号线912和辅助电容线915的图案、以及源极信号线913和漏极线914的图案以规定的精度进行对位而形成。因此,在形成栅极信号线912和辅助电容线915的图案、以及源极信号线913和漏极线914的图案之后,对这些图案的对位的精度进行测定。当对位的精度偏离规定的容许范围时,重新形成源极信号线913和漏极线914。
这样的对位精度的测定,例如使用图像识别来进行。因此,在源极信号线913和漏极线914上,有时形成有用于图像识别的测定用的标记或图案。例如,在图3所示的结构中,在漏极线914的一部分上形成有在X轴方向延伸的直线部分914a。利用图像识别对该直线部分914a的边缘和栅极信号线912的边缘进行检测,利用该检测结果测定Y轴方向的相互的位置关系(例如,栅极信号线912的中心线C与漏极线914的直线部分914a的中心线B之间的距离D)。
此外,作为与本发明相关的先前技术文献,可列举日本特开2003-302654号公报。
发明内容
但是,为了提高亮度,有要液晶显示面板增大各像素的开口率的要求。因此,如图3所示的结构那样,当在相对基板上形成有控制液晶的取向的结构物921a~921e时,有时采用使漏极线914尽量与该结构物921a~921e中的任一个重叠的结构。但是,难以使在X轴方向延伸形成的直线部分914a与这些结构物921a~921e重叠。结果,不与这些结构物921a~921e重叠的部分会使像素的开口率下降。
因此,为了提高开口率,优选使漏极线914中不与控制取向的结构物921a~921e重叠的部分的面积尽量减小。但是,该直线部分914a需要具有某一程度的长度,使得在图像识别中能够以规定的精度被检测出边缘。此外,如果使不与该结构物921a~921e重叠的部分的宽度变细,则处理余量(process margin)变小,因此,有可能成为成品率下降的一个原因。
鉴于上述实际情况,本发明要解决的课题是:提供一种能够提高像素的开口率并且能够进行对位精度的测定的显示用面板的基板和一种使用该基板的显示面板,或者,提供一种能够不使处理余量变小而提高像素的开口率的显示用面板的基板和一种使用该基板的显示面板。
为了解决上述课题,本发明将用于对第一导体图案与第二导体图案的对位精度进行测定的位置测定标记形成为浮岛状。在此,所谓“浮岛状”是指,与形成第一导体图案或第二导体图案的导电性的要素不构成电连接、或不打算进行电连接。此外,可以是指:在与第一导体图案或第二导体图案的关系中,不具有或者不打算具有任何电气功能或电子功能。
该位置测定标记被形成在与形成有第一导体图案的层和形成有第二导体图案的层中的任一层相同的层中。此外,该位置测定标记优选被形成在不使像素的开口率下降的位置。例如,如果形成有该位置测定标记的层与形成有第二导体图案的层为同一层,则形成的位置优选为至少一部分与第一导体图案重叠的位置。
在使用图像识别的情况下,该位置测定标记优选为能够高精度地检测出其位置的形状。例如,优选形成为包括至少一边以上的直线部分的形状。
此外,作为第一导体图案,能够应用包括栅极信号线的图案,作为第二导体图案,能够应用包括源极信号线和漏极线的图案。
发明效果
根据本发明,第一导体图案(例如,栅极信号线的图案)与第二导体图案(例如,源极信号线和漏极线的图案)的对位精度的测定,能够使用被形成为浮岛状的位置测定标记来进行。从而,不需要在第二导体图案等上形成位置测定用的直线部分等,因此,第二导体图案的设计的自由度提高。结果,能够设计成使第二导体图案尽量与其它的遮光性的要素重叠,因此,能够提高像素的开口率。
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