[发明专利]激光光源的待机方法有效
| 申请号： | 200680034287.3 | 申请日： | 2006-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101268416A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 德久章;高田康利 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02F1/35 | 分类号： | G02F1/35;H01S3/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 光源 待机 方法 | ||
1.一种激光光源的待机方法，该激光光源通过使用波长转换元件的波长转换光学系统，将从激光振荡部产生的激光加以波长转换，其特征在于，
在待机时，降低所述波长转换元件的波长转换效率。
2.根据权利要求1所述的激光光源的待机方法，其特征在于，
所述经波长转换的激光是深紫外光。
3.根据权利要求1所述的激光光源的待机方法，其特征在于，
降低所述波长转换元件的波长转换效率的方法，使构成所述激光振荡部的半导体激光的至少一个的控制振荡波长的温度，成为与所述激光光源通常使用时的温度不同的温度。
4.根据权利要求1所述的激光光源的待机方法，其特征在于，
降低所述波长转换元件的波长转换效率的方法，使所述波长转换元件中受温度控制的波长转换元件的至少一个的温度，成为与所述激光光源通常使用时的温度不同的温度。
5.根据权利要求1所述的激光光源的待机方法，其特征在于，
所述波长转换元件是非线性光学晶体，降低所述波长转换元件的波长转换效率的方法，使所述非线性光学晶体的晶体轴与光轴的构成角度，成为与所述激光光源通常使用时的角度不同的角度的方法。
6.根据权利要求1所述的激光光源的待机方法，其特征在于，
所述激光光源使用光纤放大器将所述激光放大。
7.一种激光光源的待机方法，所述激光光源通过使用波长转换元件的波长转换光学系统，从复数个激光振荡部所产生的激光形成深紫外光，其特征在于，
在待机时，使从所述各激光振荡部产生的脉冲激光的时序的相对关系，从所述激光光源的通常使用时的相对关系错开。
8.根据权利要求7所述的激光光源的待机方法，其特征在于，
所述激光振荡部具有半导体激光与电气光学元件(EOM)，从所述各激光振荡部产生的脉冲激光的时序的相对关系，是从半导体激光产生的脉冲激光的相对关系、或以所述EOM分割脉冲的脉冲激光的时序的相对关系。
9.根据权利要求7所述的激光光源的待机方法，其特征在于，
所述激光光源使用与所述各激光振荡器对应设置的光纤放大器将所述各激光放大。
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