[发明专利]用于光刻设备的照射器

权利要求书

1.一种光刻设备的照射器，包括：

-光束(10)的光源(1’)，所述光束用于照射掩模(8)并使晶片(W)的区域曝光；

-至少一个主微透镜阵列(4)；以及

-快门(6)，包括至少一个快门板(61)，所述快门板(61)包括：

至少一个部分(612)，其对于所述光束(10)是不透明的，

以及

多个部分(610)，其对于所述光束是透明的，

其中，所述快门板(61)能够在基本平行于所述快门板的移动方向(X)上相对于所述光束(10)移动，从而：

使不透明的所述部分(612)能够至少部分地阻挡所述光束，

或者

使透明的所述部分能够允许所述光束(10)至少部分地通过，所述照射器的特征在于：

包括移动装置(9)，所述移动装置(9)能够使所述快门(6)与所述掩模(8)和所述晶片(W)同步移动，其中所述快门(6)位于与至少包括所述主微透镜阵列(4)的光学系统的光瞳(40，410)邻近的区域(11)内。

2.如权利要求1所述的照射器，其中每个透明的所述部分(610)均为长方形，并具有纵轴线(611)。

3.如权利要求2所述的照射器，其中每个透明的所述部分(610)均基本为矩形，其中每个矩形均包含在长边(613)和短边(614)之间，并且透明的所述部分的所述纵轴线相互平行。

4.如权利要求3所述的照射器，其中，在所述移动方向(X)上两个相邻的透明部分的两个纵轴线(611)之间的距离(a)与所述两个相邻的透明部分在所述移动方向(X)上邻近且连续的两个长边(613)之间的距离(b)之间的比值(a/b)小于2。

5.如上述任一项权利要求所述的照射器，其中所述快门(6)还包括至少一个跨板(62)，所述跨板(62)在光学上与所述快门板(61)相对设置，其中所述跨板(62)包括由对于所述光束(10)不透明的部分(622)和允许所述光束(10)通过的透明部分(620)组成的至少一个交替。

6.如权利要求5所述的照射器，其中所述跨板(62)的所述透明部分为长方形，并具有纵轴线(621)。

7.如权利要求6所述的照射器，其中所述跨板(62)包括多个交替。

8.如当权利要求7从属于权利要求3时所述的照射器，其中所述快门板和跨板(61，62)的所述透明的部分各自的所述纵轴线(611，621)相互垂直。

9.如权利要求5至8中任一项所述的照射器，其中所述跨板(62)的每个透明部分(620)均基本为矩形，每个矩形均包含在长边(623)和短边(624)之间，并且所述透明部分的所述纵轴线(622)相互平行。

10.如权利要求5至9中任一项所述的照射器，其中所述跨板(62)相对于所述光束、在基本平行于所述跨板(62)的平面(X，Y)内是固定的。

11.如权利要求5至9中任一项所述的照射器，其中所述快门移动装置包括用于使所述快门板(61)移动的装置(91)和用于使所述跨板(62)移动的装置(92)，其中所述快门板(61)的移动能够与所述掩模(8)和所述晶片(W)的移动同步进行，并且所述跨板(62)能够相对于所述光束、在基本平行于所述跨板(62)的平面(X，Y)内移动。

12.如权利要求11所述的照射器，其中所述快门板(61)能够在基本平行于所述快门板(61)的两个方向(X，Y)上移动。

13.如权利要求5至12中任一项所述的照射器，其中所述跨板(62)位于与至少包括所述主微透镜阵列(4)的光学系统的光瞳(40，410)邻近的区域(11)内，并且所述跨板(62)在光学上与所述快门板(61)相对设置。

14.如权利要求9至13中任一项所述的照射器，其中形成所述快门板和跨板(61，62)的所述透明部分(610，620)或形成所述快门板和跨板(61，62)的所述透明部分的组合的所述矩形的所述短边(614，624)的比率等于所述阵列(4)的微透镜的尺寸比率。