[发明专利]利用微粒流体检测蜂窝结构体中的缺陷的方法、系统和装置

权利要求书

1.一种用于检测蜂窝结构体中的缺陷的系统，包括：

夹具，适于固定所述蜂窝结构体；

微粒流体源；

在所述微粒流体源与所述蜂窝结构体的第一端面之间的用于微粒流体的流动路径；以及

流动矫直装置，所述流动矫直装置包括被设置在所述流动路径中的多个叶片。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述流动路径包括一管子，并且在所述微粒流体从所述管子中出来之处所述管子的内部尺寸大于所述蜂窝结构体的最大横向外部尺寸。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述流动矫直装置的多个叶片构成多个流动通道。

4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述流动通道是由蜂窝式构件提供的。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述蜂窝式构件还包括层叠的蜂窝式盘片。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括在所述流动矫直装置附近安装的多孔介质。

7.如权利要求1所述的系统，其特征在于，基本上沿着一管子的整个长度，包括所述所述流动矫直装置的多个叶片。

8.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述微粒流体源包括具有一个或多个喷嘴的微粒发生器。

9.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述微粒流体源包括一微粒发生器，使所述微粒发生器定向以便具有一基本上正切的粒子轨迹。

10.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述流动路径包括一管子，并且选择所述管子的长度L和内部直径D使得L/D介于0.25和1.5之间。

11.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一端面暴露于来自所述流动路径、且其流速分布基本上均匀的微粒流体的流动之中。

12.如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述基本上均匀的流速分布在用于限定第一端面的区域上的变化不超过25％。

13.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一端面相对于周围的夹具底侧间隔了一段距离S＞6mm。

14.如权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括位于所述夹具上方且具有一开口的对流遮蔽板，所述开口的形状和大小与所述蜂窝结构体的外形基本上一致。

15.如权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括检测系统，用于监控在所述蜂窝结构体的第二端面处出现的微粒流体。

16.如权利要求15所述的系统，其特征在于，所述检测系统包括一光源，用于将光束投影到所述蜂窝结构体的第二端面附近。

17.如权利要求15所述的系统，其特征在于，所述检测系统还包括一成像设备，用于拍摄被照射的微粒的图像。

18.如权利要求1所述的系统，其特征在于，在所述流动路径的输出端附近形成一腔室，并且所述腔室包括至少一个端口，所述腔室的边界处的微粒流体通过所述端口被收回或可以逸出。

19.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述微粒流体是微粒水雾。

20.一种用于将微粒流体施加到一蜂窝结构体的端面上的装置，包括：

微粒流体源，所述微粒流体源具有带一内部空腔的外壳以及用于产生微粒流体的微粒发生器；

管子，所述管子被设置在所述外壳中并且具有朝着所述内部空腔打开的第一端以及第二端，其中压力差将微粒流体驱动到所述管子中；以及

流动矫直装置，它包括被设置在所述管子中的多个流动叶片。

21.如权利要求22所述的装置，其特征在于，还包括设置在所述外壳中的隔离物，所述隔离物将所述空腔划分成第一腔室和第二腔室。

22.如权利要求22所述的装置，其特征在于，由所述多个流动叶片的相交提供了流动通道。

23.如权利要求22所述的装置，其特征在于，由一蜂窝式构件提供了流动通道。

24.如权利要求23所述的装置，其特征在于，还包括蜂窝式盘片的层叠体。