[发明专利]形成倾斜微透镜的工艺方法

权利要求书

1.一种微透镜结构，其包括：

由衬底支撑的固态材料层，所述层的上表面相对于所述衬底的上表面倾斜；以及

由所述层支撑的微透镜。

2.根据权利要求1所述的微透镜结构，其中所述微透镜是倾斜的。

3.根据权利要求1所述的微透镜结构，其中所述固态材料层包括光致抗蚀剂材料。

4.根据权利要求1所述的微透镜结构，其中所述固态材料层包括形成微透镜的材料。

5.根据权利要求1所述的微透镜结构，其中所述微透镜被支撑在所述固态材料层正上方。

6.根据权利要求2所述的微透镜结构，其中所述层的所述上表面与所述衬底之间的倾斜角度小于约10度。

7.根据权利要求1所述的微透镜结构，其中所述固态材料层是流动材料。

8.根据权利要求1所述的微透镜结构，其中所述固态材料层的所述上表面具有凸块。

9.根据权利要求1所述的微透镜结构，其中所述固态材料层的所述上表面是平滑的。

10.一种微透镜阵列，其包括：

提供在衬底上的多个微透镜；以及

多个固态材料楔形物，每个楔形物定位在所述衬底与各自微透镜之间并支撑所述各自微透镜。

11.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其中所述楔形物的微透镜支撑表面相对于所述衬底的表面倾斜小于约10度。

12.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其中所述楔形物包括光致抗蚀剂材料。

13.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其中所述楔形物包括微透镜材料。

14.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其中所述楔形物包括流动材料。

15.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其中在所述楔形物的所述支撑表面上存在凸块。

16.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其中所述楔形物的所述支撑表面是平滑的。

17.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其中所述多个微透镜中的至少两者定位在共用光敏装置上方，以用于将入射光引导到所述共用光敏装置。

18.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其中所述多个微透镜中的每一者定位在各自多个光敏装置上方，以用于将入射光引导到每个各自光敏装置。

19.一种成像器结构，其包括：

形成在衬底中的多个像素；

形成在所述多个像素上方的平面层；

形成在所述平面层上的多个楔形物结构，每个楔形物结构经定位以将入射光传递到所述多个像素中的至少一者；以及

多个微透镜，每个微透镜分别由所述多个楔形物结构中的至少一者支撑。

20.根据权利要求19所述的成像器结构，其中每个楔形物结构分别定位在所述多个像素中的一者上方，以将入射光引导到所述各自像素。

21.根据权利要求19所述的成像器结构，其中至少两个楔形物结构经定位以将入射光引导到所述多个像素中的一者。

22.根据权利要求19所述的成像器结构，其中所述多个楔形物结构中的每个各自楔形物结构在相同的方向上倾斜。

23.根据权利要求19所述的成像器结构，其中所述多个楔形物结构包括可流动材料。

24.根据权利要求19所述的成像器结构，其中所述多个楔形物结构中的至少一者具有平滑的上表面。

25.根据权利要求19所述的成像器结构，其中所述多个楔形物结构中的至少一者具有不平的上表面。

26.根据权利要求19所述的成像器结构，其中至少一对楔形物结构彼此倾斜远离。

27.根据权利要求19所述的成像器结构，其中至少一组四个楔形物结构倾斜远离所述至少一组四个楔形物结构的中心。