[发明专利]流体控制装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，其特征在于，具备：

通过使流道的开口面积变化来对流体的流量进行控制的流体控制阀；

对流体的流量进行计测并将该流量的计测值变换为电信号并输出的流量计测器；和

控制部，其基于来自该流量计测器的所述电信号与设定流量的偏差，将用于对所述流体控制阀的开口面积进行控制的指令信号，向所述流体控制阀或者操作该流体控制阀的设备输出。

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，还具备用于将所述流体的流动开放或截断的开闭阀。

3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，还具备使流体的压力变动衰减的压力调整阀。

4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，所述阀以及所述流量计测器，不使用独立的连接机构而直接连接。

5.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，所述阀以及所述流量计测器，被配设在一个基础部件上。

6.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，所述流体控制阀：

将主体、气缸和阀盖固定为一体，所述主体在上部具有阀室和分别与阀室连通的入口流道以及出口流道、在阀室底部中央设有连通有入口流道的开口部，所述气缸在底部中央设有贯通孔，在侧面设有呼吸口，并夹持固定主体和第一隔板，所述阀盖在上部设有工作流体连通口，并夹持固定气缸和第二隔板的边缘部；第一隔板将台肩部、位于台肩部之上并嵌合固定在后述的杆的下部的安装部、位于台肩部之下并固定有后述阀体的接合部、从台肩部向径向方向延伸的薄膜部、与薄膜部连接的厚壁部以及设在厚壁部的边缘部上的密封部形成为一体，在接合部固定有伴随后述杆的上下运动而在阀室的开口部出入的阀体；另一方面，第二隔板具有中央孔，将其周边的厚壁部、从厚壁部向径向方向延伸的薄膜部以及设在薄膜部的边缘部上的密封部形成为一体，通过隔板压件贯通中央孔而夹持固定在位于杆的上部的台肩部上，所述杆在底部固定有第一隔板的安装部；另外，杆，其下方部以游嵌的状态被配置在气缸底部的贯通孔内，而且被以防止了向径向方向移动的状态嵌合在气缸的段差部与杆的台肩部下表面之间的弹簧所支撑。

7.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，所述流体控制阀，包括流量限制部，其具备：

具有上部阀盖和内包于下部阀盖的马达部的电气式驱动部；具有通过与马达部的轴连接的轴杆而上下运动的阀体的隔板；和具有分别与通过隔板而从电气式驱动部分离的阀室连通的入口流道以及出口流道的主体。

8.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，所述流体控制阀，具备：

由弹性体构成的管体；具有内部气缸部并在上部接合了气缸盖的气缸主体；可在气缸部内周面上上下运动而且以密封状态滑接而且具有以在密封状态下贯通设置在气缸主体下表面中央的贯通孔的方式从中央垂下而设置的连接部的活塞；固定在活塞的连接部的下端部、被收纳于在气缸主体的底面上与流道轴线方向垂直地设置的长圆状切缝内的夹压件；接合固定在气缸主体的下端面上、在流道轴线上设有收纳管体的第一槽并在第一槽的两端部上比第一槽更深地设有收纳连结体座的第二槽的主体；在一端具有与主体的第二槽嵌合的嵌合部、在另一端内部具有连结体承窝而且具有收纳管体的贯通孔的一对连结体座；和一对空气口，其设在气缸主体周侧面上，分别与由气缸部底面以及内周面与活塞下端面包围而形成的第一空间部和由气缸盖下端面与气缸部内部周面与活塞上表面包围的第二空间部连通。

9.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，所述流体控制阀，具备：

具有上部阀盖和内包于下部阀盖的马达部的电气式驱动部；通过与马达部的轴连接的轴杆而上下运动的夹压件；由弹性体构成的管体；和接合固定在下部阀盖的下端面上、在流道轴线上收纳管体的槽。