[发明专利]用于镀膜操作的固定装置

权利要求书

1.一种用于镀膜操作的固定装置，该装置包括：

支撑结构，其包括圆形的底部元件，与所述圆形底部元件相对的圆形的顶部元件，以及连接所述顶部元件至所述底部元件的多个结构元件；

垂直环列于所述支撑结构外周且形成圆柱状结构的多个面板元件，所述面板元件固设于所述圆形顶部元件及所述圆形底部元件上；

所述面板元件包括多个用于固持待镀膜工件的孔，所述孔朝外背离所述支撑结构，所述孔构造成用以接受所述工件的不需镀膜部分；

所述面板元件包括多个板件，至少一些板件提供用于将孔内空间与孔外空间相隔离并固设所述工件于所述孔内的屏障；

所述孔设置于所述面板元件上，使得所述工件沿垂直方向排列并使工件需要镀膜的部分伸到孔外空间，而不需要镀膜的部分保持在孔的内部空间内，使得孔内空间与孔外空间基本上不会穿过所述屏障而直接相通。

2.一种同时对多个工件镀膜的方法，该方法包括：

(i)提供固定装置，该装置包括：

支撑结构，其包括圆形的底部元件，与所述圆形底部元件相对的圆形的顶部元件，以及连接所述顶部元件至所述底部元件的多个结构元件；

垂直环列于所述支撑结构外周且形成圆柱状结构的多个面板元件，所述面板元件固设于所述圆形顶部元件及所述圆形底部元件上；

所述面板元件包括多个用于固持待镀膜工件的孔，所述孔朝外背离所述支撑结构，所述孔构造成用以接受所述工件的不需镀膜部分；

所述面板元件包括多个板件，至少一些板件提供用于将孔内空间与孔外空间相隔离并固设所述工件于所述孔内的屏障；

所述孔设置于所述面板元件上，使得所述工件沿垂直方向排列并使工件需要镀膜的部分伸到孔外空间，而不需要镀膜的部分保持在孔的内部空间内，使得孔内空间与孔外空间基本上不会穿过所述屏障而直接相通；

(ii)将工件加载固设于所述面板元件的孔内；

(iii)将所述固定装置置于具有镀膜材料源的镀膜室内的可旋转驱动系统上；以及

(iv)操作驱动系统使固定装置旋转，对伸到孔外空间的工件部分同时通过物理气相沉积形成镀膜。

3.如权利要求1所述的固定装置或权利要求2所述的方法，其中所述圆形底部元件包括圆形带状元件，所述圆形顶部元件包括圆形带状元件，所述结构元件包括杆状元件。

4.如权利要求1所述的固定装置或权利要求2所述的方法，其中所述顶部元件包括接受所述面板元件端部的机构，所述底部元件包括接受所述面板元件端部的机构，以固设所述面板元件于所述支撑结构上。

5.如权利要求1所述的固定装置或权利要求2所述的方法，其包括约12个或12个以下到约36个或36个以上的面板元件。

6.如权利要求1所述的固定装置或权利要求2所述的方法，其包括面板元件，所述面板元件具有1到约4行或4行以上，其中每行包括约5个或5个以下到25个或25个以上用于固持工件的孔。

7.如权利要求1所述的固定装置或权利要求2所述的方法，其中所述孔设置于所述面板元件上，使得所述工件在相交错的垂直方向排列。

8.如权利要求1所述的固定装置或权利要求2所述的方法，其中所述面板元件包括相同的工件。

9.如权利要求1所述的固定装置或权利要求2所述的方法，其中一个或一个以上的面板元件包含的工件不同于其他面板元件所包含的工件。