[发明专利]用于对由仪器产生的数据进行分析的方法

权利要求书

1.一种用于对来自仪器的数据进行分析的方法，该方法包括：

接收来自仪器的原始数据以及来自用户的包括参数的配置数据以产生算法；

将所述原始数据和所述配置数据传送至引擎以产生基于所述参数的算法；

从所述引擎接收结果，所述结果基于所述原始数据、所述配置数据以及由所述引擎产生的算法；以及

将所述结果返回给用户。

2.根据权利要求1所述的方法，该方法进一步包括：

基于通过仪器测量的结构中的元素核素以及所述结构的配置来选择参数。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述基于结构中的元素核素以及所述结构的配置来选择参数包括：

基于基片上的若干层以及所述基片上的层的光电子核素来选择参数。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述接收原始数据包括：

接收具有动能的光电子的计数。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述传送原始数据和配置数据包括：

在模型中将所述原始数据和所述配置数据进行打包；以及

将所述模型传输至所述引擎。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述在模型中将原始数据和配置数据进行打包包括：

产生用于所述模型的层列表，所述模型包括用于确定层的特性的算法；

在所述层列表中产生用于所述模型的核素列表；

在所述核素列表中产生包括所述结果的结果列表；以及

产生所述原始数据的区域列表。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述产生用于所述模型的层列表包括：

产生层列表，所述层列表包括用于确定层的厚度的厚度算法以及用于确定层的原子浓度的浓度算法。

8.根据权利要求4所述的方法，其中所述接收具有动能的光电子的计数包括：

使用X射线光电子能谱来产生光电子。

9.根据权利要求6所述的方法，该方法进一步包括：

产生自定义函数列表，该自定义函数列表包括用以执行自定义函数的自定义函数参数列表。

10.一种用于确定基片上的层的特性的方法，该方法包括：

接收来自对所述层进行测量的仪器的原始数据以及包括参数的配置数据，以用于确定所述层的特性；

将所述原始数据和所述配置数据传送至引擎以产生用以确定所述层的特性的算法；

从所述引擎接收结果，所述结果包括所述层的特性；以及

将所述结果返回给用户。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述特性从由下列各项组成的组中进行选择：

所述层的厚度、所述层的原子浓度、以及所述层的分布。

12.根据权利要求10所述的方法，该方法进一步包括：

基于所述层的元素核素以及在所述基片上的若干其它层来确定所述参数。

13.根据权利要求12所述的方法，该方法进一步包括：

采用基于所述参数而选择的其它算法来确定所述算法。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述其它算法基于光电子核素和层的已知特性而被预先确定。

15.根据权利要求10所述的方法，其中所述将所述原始数据和所述配置数据传送至引擎包括：

在模型中将所述原始数据和所述配置数据进行打包；以及

将所述模型传输至所述引擎。

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述在模型中将所述原始数据和所述配置数据进行打包包括：

产生用于所述模型的层列表，所述模型包括用于确定层的特性的算法；

在所述层列表中产生用于所述模型的核素列表；

在所述核素列表中产生包括所述结果的结果列表；以及

产生所述原始数据的区域列表。

17.根据权利要求16所述的方法，其中所述产生用于所述模型的层列表包括：

产生层列表，所述层列表包括用于确定层的厚度的厚度算法以及用于确定层的原子浓度的浓度算法。