[发明专利]流体储存和分配系统以及包含该系统的流体供应方法

权利要求书

1.一种加工装置，包括：其中装有对感兴趣的流体具有吸附亲和力的物理吸附剂介质、和/或流体压力调节器的大型的、固定定位的流体储存和分配容器，以及在加工操作中适于采用所述感兴趣的流体的工艺设备，其中所述流体储存和分配容器以分配流动连通方式与所述工艺设备相连接。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述工艺设备包括半导体制造装置。

3.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述感兴趣的流体包括毒性气体。

4.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述感兴趣的流体包括危险气体。

5.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述流体储存和分配容器包括装有物理吸附剂的流体储存和分配容器。

6.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述流体储存和分配容器包括配备有内部调节器的流体储存和分配容器。

7.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述容器的爆破压力小于2500磅每平方英寸(psig)。

8.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述流体储存和分配容器包括用以将流体从所述物理吸附剂进行热介导脱附的传热增强件。

9.根据权利要求8所述的加工装置，其中所述传热增强件包括选自由热电偶套管、散热片、夹套、盘管、热交换器、和电阻加热元件组成的组的结构元件。

10.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述流体储存和分配容器被连接至抽取器。

11.根据权利要求10所述的加工装置，其中所述抽取器包括泵单元。

12.根据权利要求10所述的加工装置，其中所述抽取器包括适用于吸力或其它抽取压力差施加到在所述流体储存和分配容器中的所述物理吸附剂上的装置。

13.根据权利要求10所述的加工装置，其中所述抽取器包括适于将热或其它能量输入提供至所述流体储存和分配容器中的所述物理吸附剂上的装置。

14.根据权利要求1所述的加工装置，进一步包括适于以流体流动连通方式与所述流体储存和分配容器相连接的便携式气体供应容器，以用所述感兴趣的流体充注所述流体储存和分配容器。

15.根据权利要求14所述的加工装置，其中所述便携式气体供应容器包括装有物理吸附剂的流体储存和分配供应容器。

16.根据权利要求14所述的加工装置，其中所述便携式气体供应容器包含配有内部调节器的流体储存和分配供应容器。

17.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述流体储存和分配容器装有所述感兴趣的流体。

18.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述感兴趣的流体在负压下被装在所述流体储存和分配容器中。

19.根据权利要求14所述的加工装置，其中所述便携式气体供应容器装有液态形式的所述感兴趣的流体，并适于以蒸汽形式将感兴趣的流体分配到所述流体储存和分配容器中。

20.根据权利要求1所述的加工装置，进一步包括用车辆装载的气体供应容器，其适于流体连通地与所述流体储存和分配容器相连接，以用所述感兴趣的流体充注所述流体储存和分配容器。

21.一种气体供应系统，包括：装有对所述感兴趣的流体具有吸附亲和力的物理吸附剂介质的大型的、固定定位的流体储存和分配容器，以及适于在加工操作中适合使用所述感兴趣的流体的工艺设备，其中所述流体储存和分配容器以分配流动连通方式与所述工艺设备相连接，适于流体连通地与所述流体储存和分配容器相连接的多个流体供应容器，以用所述感兴趣的流体充注所述流体储存和分配容器。

22.根据权利要求20所述的气体供应系统，其中所述多个流体供应容器包括便携式流体供应容器。

24.根据权利要求20所述的气体供应系统，其中所述多个流体供应容器是拖车安装的。

25.根据权利要求20所述的气体供应系统，其中所述多个流体供应容器包括装有物理吸附剂的流体供应容器。