[发明专利]流量范围可变型流量控制装置

权利要求书

1.一种流量范围可变型流量控制装置，其特征在于，作为通向流量控制装置的流量检测部的流体通路，至少设置小流量用的流体通路和大流量用的流体通路，使小流量区域的流体通过上述小流量用流体通路而向流量检测部流通，并且将流量控制部的检测电平切换为适于小流量区域的检测的检测电平，此外，使大流量区域的流体通过上述大流量用流体通路而向上述流量检测部流通，并且将流量控制部的检测电平切换为适于大流量区域的流量的检测的检测电平，由此分别切换大流量区域和小流量区域的流体而进行流量控制。

2.一种流量范围可变型压力式流量控制装置，使用节流孔上游侧压力P₁以及/或者节流孔下游侧压力P₂，根据Qc＝KP₁(K为比例常数)或者Qc＝KP₂^m(P₁-P₂)ⁿ(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量，其中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向至少另一方的节流孔流通。

3.如权利要求2所述的流量范围可变型压力式流量控制装置，其特征在于，并列状的流体通路的个数为两个，此外，节流孔为大流量用节流孔和小流量用节流孔这两个节流孔，并且借助设置在大流量用节流孔的流体通路上的切换阀的动作将流体流量的控制范围切换为小流量区域和大流量区域。

4.如权利要求2所述的流量范围可变型压力式流量控制装置，其特征在于，将节流孔分为大流量用节流孔、中流量用节流孔和小流量用节流孔这三种，并且，在一方的流量通路上串联状地设置第一切换用阀、第二切换阀和大流量节流孔，此外，在另一方的流体通路上设置小流量节流孔和中流量节流孔，进而，使连通上述两切换阀之间的通路、和连通小流量节流孔和中流量节流孔之间的通路连通。

5.如权利要求2所述的流量范围可变型压力式流量控制装置，其特征在于，在压力式流量控制装置节流孔中流通的流体是临界条件下的流体。

6.一种流量范围可变型流量控制装置，是热式质量流量控制装置，由流量控制阀、层流元件装置部和流量传感器部等构成，由流量传感器部检测与流体的质量流量成比例的温度变化，并根据该检测温度而控制流量控制阀的开闭，由此使一定的设定流量的流体流出，其中，直到流量控制阀的流体通路形成为至少两个以上的并列的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置粗度不同的层流元件，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的层流元件流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的层流元件流通。

7.如权利要求6所述的流量范围可变型流量控制装置，其特征在于，并列状的流体通路的个数为两个，此外，层流元件为大流量用的粗层流元件和小流量用的细层流元件这两个层流元件，并且，利用设置在各自的流体通路上的切换阀的动作而将流体流量的控制范围切换为小流量区域和大流量区域。