[发明专利]溅射靶及光信息记录介质用薄膜

权利要求书

1.一种溅射靶，其中，以硫化锌与由氧化铟、氧化锌及其它三价阳性元素A构成的氧化物为主要成分，硫相对于全部构成成分的比率为5至30重量％，XRD测定的立方晶系ZnS的(111)峰强度I1与六方晶系ZnS的(100)峰强度I2共存并且满足I1＞I2。

2.权利要求1所述的溅射靶，其中，立方晶系ZnS的(111)峰的半值宽度的平均值为0.25以下，半值宽度的标准偏差为0.06以下。

3.权利要求1或2所述的溅射靶，其中，三价的阳性元素A为选自铝、镓、钇、镧中的一种以上成分的材料。

4.权利要求1至3任一项所述的溅射靶，其中，硫化物相的平均结晶粒径大于氧化物相的平均结晶粒径，并且为10μm以下。

5.权利要求1至4任一项所述的溅射靶，其中，相对密度为85％以上，基于三点弯曲强度(JIS R 1601)的强度平均值为50MPa以上，Weibull系数为5以上。

6.使用权利要求1至5任一项所述的溅射靶形成的光信息记录介质用薄膜。