[发明专利]平移旋转二自由度载物台装置及采用该装置的三自由度载物台装置

权利要求书

1.一种平移旋转二自由度载物台装置，通过配置于机台部的驱动机构将放载对象物的工作台定位于规定位置，其特征为，

前述驱动机构是一轴驱动平移旋转机构，其通过由具有平移自由度的2个平移自由度部和具有旋转自由度的1个旋转自由度部构成的第1机构部，

及由设置在前述第1机构部的2个前述平移自由度部中的一个上的电动机、检测出作为被检测体的该机构部的动作量的动作量检测器及接收指令信号控制前述电动机的控制器构成的电动机控制装置构成，

至少具备2组前述驱动机构即前述一轴驱动平移旋转机构，

在前述工作台的旋转移动中心还具备具有1个前述旋转自由度部和1个前述平移自由度部的第2机构部，

前述一轴驱动平移旋转机构在具备向前述控制器发送动作指令的指令装置的同时，通过使前述电动机向平移方向进行动作，可使前述工作台进行一个方向的平移移动或旋转移动。

2.如权利要求1所述的平移旋转二自由度载物台装置，其特征为，还具有不具备前述电动机的前述第1机构部即三自由度机构。

3.如权利要求1所述的平移旋转二自由度载物台装置，其特征为，具备第2驱动机构，前述第2驱动机构在前述第2机构部具有由驱动前述平移自由度部的前述电动机、前述动作量检测器及前述控制器构成的前述电动机控制装置。

4.如权利要求1所述的平移旋转二自由度载物台装置，其特征为，前述第1机构部由设置在前述机台部上的第1平移自由度部、设置在前述第1平移自由度部上的第2平移自由度部及设置在前述第2平移自由度部上的旋转自由度部构成。

5.如权利要求1所述的平移旋转二自由度载物台装置，其特征为，前述第1机构部由设置在前述机台部上的第1平移自由度部、设置在前述第1平移自由度部上的旋转自由度部及设置在前述旋转自由度部上的第2平移自由度部构成。

6.如权利要求1所述的平移旋转二自由度载物台装置，其特征为，具备用于掌握前述工作台或者前述工作台上的对象物的位置的二次元位置传感器及对由前述二次元位置传感器捕捉到的对象物图像进行图像处理以运算用于修正前述对象物位置的修正量的修正量计算部，

根据由前述修正量计算部得到的修正量使前述电动机进行动作，修正前述工作台或者前述工作台上的前述对象物的位置。

7.如权利要求6所述的平移旋转二自由度载物台装置，其特征为，具有多个前述二次元位置传感器。

8.一种采用平移旋转二自由度载物台装置的三自由度载物台装置，其特征为，在权利要求1至7中的任意一项所述的平移旋转二自由度载物台装置的工作台的上部或下部具有由电动机向平移方向驱动工作台的一轴平移驱动机构。

9.一种采用平移旋转二自由度载物台装置的三自由度载物台装置，其特征为，在包围权利要求1至7中的任意一项所述的平移旋转二自由度载物台装置的门型结构上具有由电动机向平移方向驱动工作台的一轴平移驱动机构。

10.一种采用平移旋转二自由度载物台装置的三自由度载物台装置，其特征为，为了向平移方向驱动权利要求1至7中的任意一项所述的平移旋转二自由度载物台装置，具有由电动机向平移方向驱动工作台的一轴平移驱动机构。