[发明专利]多模式声波传感器

权利要求书

1.一种多模式声波传感器设备，包括：

无线询问单元，其包括发送器和接收器；

声波器件，其包括压电基板和所述压电基板上的至少一个电极；以及

与所述声波器件相关联地被配置在所述压电基板上的多个天线，其中，所述多个天线当中的每个天线对从所述无线询问单元无线发送到所述多个天线的变化的询问信号做出响应，以便通过所述压电基板上的至少一个叉指换能器激发多个频率模式，并且从而利用所述声波器件无源地检测所传感的材料的多个变化参数。

2.权利要求1所述的设备，其中，被无线发送到所述多个天线的所述变化的询问信号包括至少一个输入信号。

3.权利要求1所述的设备，其中，被无线发送到所述多个天线的所述变化的询问信号是为了激发所述多个频率模式，其中包括以下频率模式类型的至少其中之一：表面声波(SAW)模式、剪切水平表面声波(SH-SAW)模式、伪表面声波(PSAW)模式、以及漏表面声波(LSAW)模式。

4.权利要求3所述的设备，其中，所述多个频率模式还包括以下频率模式类型的至少其中之一：弯曲板波(FPW)、声板剪切水平声板模式(SH-APM)、幅度板模式(APM)、厚度剪切模式(TSM)、体声波(BAW)模式、横波模式、掠面模式、表面横波模式、谐波模式以及泛音模式。

5.权利要求1所述的设备，其中，所述声波器件被配置成抑制所述多个频率模式当中的至少一些预定频率模式，同时允许通过所述声波器件激发所述多个频率模式当中的其他频率模式。

6.权利要求1所述的设备，其中，通过所述声波器件激发所述多个频率模式允许把温度改变效果与压力改变效果分开。

7.一种多模式声波传感器设备，包括：

声波器件，其包括压电基板和所述压电基板上的至少一个电极；以及

与所述声波传感器相关联的多个振荡器，其中，所述多个振荡器当中的每个振荡器对至少一个信号做出响应以便通过所述声波器件激发多个频率模式，从而使得每一个所述振荡器通过有线连接向所述声波器件发送激发信号，并且其中所述声波器件被配置成抑制所述多个频率模式当中的至少一些预定频率模式，同时允许通过所述声波传感器器件激发所述多个频率模式当中的其他频率模式。

8.权利要求7所述的设备，其中，每一个所述振荡器通过有线连接向所述声波器件发送至少一个信号以便激发所述多个频率模式，其中包括以下频率模式类型的至少其中之一：表面声波(SAW)模式、剪切水平表面声波(SH-SAW)模式、伪表面声波(PSAW)模式、以及漏表面声波(LSAW)模式。

9.权利要求8所述的设备，其中，所述多个频率模式还包括以下频率模式类型的至少其中之一：弯曲板模式(FPM)、声板剪切水平声板模式(SH-APM)、幅度板模式(APM)、厚度剪切模式(TSM)、体声波(BAW)模式、横波模式、掠面模式、表面横波模式、谐波模式以及泛音模式。

10.一种多模式声波传感器方法，包括以下步骤：

提供无线询问单元，其包括发送器和接收器；

形成声波器件，其包括压电基板和作为电极形成在所述压电基板上的至少一个叉指换能器；并且

与所述声波器件相关联地在所述压电基板上配置多个天线，其中，所述多个天线当中的每个天线对从所述无线询问单元无线发送到所述多个天线的变化的询问信号做出响应，以便通过所述压电基板上的至少一个叉指换能器激发多个频率模式，并且从而利用所述声波器件无源地检测所传感的材料的多个变化参数。